Serie nanoSX 800
ultraflacher Hochleistungspositionierer
- Hub bis zu 900µm
- extreme Führungsgenauigkeit durch nanoX-Antrieb
- 2.5 N Z-Achsensteifigkeit
- 1.0 nm Auflösung
- Resonanzfrequenz bis zu 3kHz
Die neue Serie nanoSX basiert auf dem speziellen bi-direktionalen nanoX Antriebsdesign. Somit können Systeme angeboten werden, welche bei Abmessungen von nur 60x60mm in Länge und Breite und einer Gesamthöhe von lediglich 20mm, einen Stellweg von bis zu 900µm ermöglichen. Der freie Innendurchmesser beträgt sogar 12.5mm. Ein Vorteil des nanoX Antriebs ist die extreme Führungsgenauigkeit, die speziell den hohen Anforderungen der Nano-Positioniertechnik angepasst wurde. Die Auflösung beträgt 1.0 nm bei einer Tragfähigkeit bis zu 50N Last. Die extrem hohe Steifigkeit ermöglicht Anstiegszeiten im µsec-Bereich. Auch können die Systeme mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung realisieren.
Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.
Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Positionierung anderer Komponenten, als Scanning-Stage für alle Arten der Mikroskopie sowie in der Materialforschung und in der Halbleitertechnik.
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