Piezo - Spaltantrieb

• symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
• gesteuert von nur einem Piezo - Aktor
• Spaltöffnung bis 1500µm
• nm-genaue Positionsauflösung
• UHV - kompatible Version
• optionales Wegmesssystem

Anwendungen:

• Teilchenstrahlbegrenzung
• Spektroskopie
• Shutter
• optische Schalter

Bei den Elementen der Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem einzigen Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung eingesetzt.

Damit ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) gesichert.

Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite wird die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem angeboten. Die verwendeten Dehnmessstreifen sichern dabei eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die PZS - Elemente sind mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Generell können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden.

In der UHV-Version kann das System mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.

Mehr Informationen zu Spaltschneiden: Montageformen Spaltschneiden

• PZS 1 (230µm Spalt)
• PZS 2 (60µm Spalt)
• PZS 3 (1500µm Spalt)
• PZS 4 (300µm Spalt)