PSH 15/1 & PSH 30/1
Piezo-Spiegelkippsystem
- ±7.5mrad bzw. ±15mrad Kippwinkel
- hohe Schrittauflösung (0.03µrad)
- hervorragende Führungsgenauigkeit
- 1" Auflagefläche für Spiegel
Anwendungen:
- präzise Strahlablenkung
- Optik
- Lasertechnik
- Lithographie
- Messtechnik
- Druckindustrie
Die Spiegelkippsysteme PSH 15/1 und PSH 30/1 aus der Serie PSH wurden zum schnellen und präzisen Positionieren optischer Spiegel entwickelt.
Die FEM-berechneten Systeme wurden speziell für 1" große Komponenten konzipiert.
Diese Elements basieren auf dem von piezosystem jena entwickelten erfolgreichen nanoX® Antriebsprinzip. Dieses bidirektionale Antriebssystem der Serien nanoSX und nanoX® zeichnet sich durch eine aktive Zu- und Rückstellbewegung aus.
Wesentliches Merkmal dieser Hochleistungsantriebe ist daher die sehr hohe Steifigkeit und Eigenresonanzfrequenz. - Auch große Massen können hochdynamisch bewegt werden.
Die bidirektionale Antriebsweise verleiht dem System eine hohe Robustheit und Unempfindlichkeit gegenüber externen Kräften.
Die zu bewegenden Komponenten können direkt auf die Kopflatte geklebt werden bzw. mittels Adapterplatte montiert werden.
