X und Z Positionierer
Serie PX, PZ
- hochauflösende X- und Z-Achsen Positioniersysteme im "Stage-Design" mit Kopf- und Grundplatte
Verstellweg: 38µm bis 1500µm
Beispiel:
PX 38= 38µm Hub X-Achse
PZ 100= 100µm Hub Z-Achse
PZ 400 OEM= 400µm Hub Z-Achse; Design&Befestigung nach Kundenvorgabe
Die Systeme der Serie PX und PZ sind besonders geeignet zur nm-genauen Positionierung leichter Komponenten, wie Spiegel und Laserdioden, oder zur Justage und Montage in der Halbleitertechnik und Elektronik, sowie für Aufgaben in der Messtechnik und Qualitätsprüfung und auch der Mikrobiologie.
Verfügbar sind diese System neben den speziellen OEM Ausführungen auch in Sonderausführungen für den Vakuum- und Tieftemperaturbereich.
Um piezotypische Drift und Hystereseeffekte zu vermeiden, können die Systeme entsprechend ihres Grundaufbaus wahlweise mit DMS oder kapazitiver Positionssensorik ausgerüstet werden. Diese garantieren neben einer hohen Positionsstabilität eine Reproduzierbarkeiten im sub-nm Bereich.
Serie PU
- universell in variabler Einbaulage montierbare Positioniersysteme mit einem Stellbereich bis 100µm
Beispiel:
PU 40 = 40µm Stellweg entsprechend der Einbaulage
Sie zeichnen sich besonders durch ihre hohen Kräfte und ihre Robustheit bei gleichzeitig hoher Positioniergenauigkeit aus. Vorzugsweise eignen sich diese, für den Industrieeinsatz konzipierten Aktoren, für die hochpräzise Positionierung schwerer Elemente wie Mikroskoptische, Waferchucks, Antriebspindeln, Leistungsoptiken sowie Systembaugruppen in der Mess- und Fasertechnik.
Als OEM Ausführung, Vakuum- und Tieftemperaturvariante, wahlweise mit DMS oder kapazitiver Positionssensorik verfügbar.
Zum schnellen und hochgenauen Bewegen großer Massen (>500g) empfehlen wir die Verwendung der Hochleistungs-Positionierer der Serie nanoX.
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