PXY 400
- zentrale Durchgangsöffnung 22 x 22 mm
- Scanner
- Waferpositionierung
- Mikroskopie, Rastersondenmikroskopie
- Automation
Dieser neue Piezo-Positioniertisch erreicht einen sehr großen Stellweg von 400 x 400 µm. Neu konstruierte Antriebe ermöglichen zugleich eine hohe Resonanzfrequenz und ein verbessertes dynamisches Verhalten.
Das System wurde speziell als XY-Scanner entwickelt, es ist jedoch für weitere vielfältige Einsatzmöglichkeiten geeignet.
Vorteilhaft für viele Anwendungen ist der freie Durchgang von 22 x 22 mm in der Mitte des Systems.
