Serie PXY AP
XY-Scan-Tisch Serie mit großer 100x100mm Innenöffnung und kombinierbaren Stellbereich
(Variable Travel Range selection) von 24µm bis 700µm
- extrem flacher XY Mikroskoptisch mit nur 15mm Bauhöhe
- VTR – Prinzip: Stellbereich kombinierbar von 24µm bis 700 µm
- bi-direktionales nanoX® - Antriebsdesign für besonders hohe Dynamik
- Apertur 100 x 100 mm
- integrierte Positionssensoren
- Option Aufnahme Objektivträger; Petrischalen u.v.m.
Anwendungen:
- Mikroskopie / Lithographie
- Nanopositionierung und Scannnig
- Waferpositionierung
- Probenmanipulation
- Biotechnologie
Mit der Serie PXY AP wurde eine bemerkenswerte Lösung für extrem flache und ultraschnelle Scanning-Tische entwickelt. Besonderes Merkmal ist die „variable Stellbereichauswahl (VTR: Variable Travel Range selection)“. Die es dem Kunden erstmalig ermöglicht, den Hub-Bereich des Scansystems variabel zu kombinieren und exakt an seine eigene Aufgabenstellung anzupassen.
Wird für einen Zeilenscan in einer Achse ein großer Stellbereich benötigt und soll die zweite Achse schnelle Zeilensprünge realisieren, können die idealen Antriebselemente variabel ausgewählt werden. Je nach gewünschter Konfiguration werden diese installiert und der Kunde erhält ein maßgeschneidertes Scansystem. Installiert der Anwender zusätzlich noch einen Objektivpositionierer aus der Serie MIPOS, können extrem genaue XYZ - Systemlösungen realisiert werden.
Um den dynamischen Anforderungen für schnelle Scans gerecht zu werden, kommt in dieser Serie das besondere nanoX® - Antriebsdesign zum Einsatz, welches Zustell- und Rückführbewegung aktiv steuert.
Definierte Positionen können auch unter Volllast mit Nanometergenauigkeit in Millisekunden angefahren werden. Ein Achsübersprechen kann in Echtzeit ausgeregelt werden. Aufgrund des flachen Designs (16mm Bauhöhe) ist diese Serie besonders für die Integration in Mikroskopsysteme geeignet.
Ein Tischeinsatz zur Aufnahme von Probehaltern wird unter der Bestellnummer T-240-99 angeboten. Er ist kompatible zur Aufnahme von Standard-Objektträger, Petri-Schalen und PH2-Inkubator.
Die Scan-Tische der Serie PXY AP sind mit und ohne Positionssensoren erhältlich. Die Steuerspannung beträgt -20…130V. Zur Steuerung stehen die analogen Steuereinheiten der Serie ENV nanoX® und der Serie 30V300nanoX® zur Verfügung (Steckerkonfektionierung LEMO/ODU) oder die komplett digitalen Steuereinheiten der Serie d–Drive (Steckerkonfektionierung D-Sub15).
Ausführungen für Vakuum- und Tieftemperatureinsatz sowie andere Materialen für Gehäuse und Antriebe (z. B. Invar / Titan) sind auf Anfrage optional erhältlich.
