XY Scanner
Die Serie XY-Scanner wurden speziell als Antriebslösung zum sehr schnellen Bewegen von optischen Komponenten und leichten mechanischen Bauteilen konzipiert.
Die Systeme arbeiten in einem Positionier- und Scanbereich von bis zu 200µm. Typenabhängig können sie mit einem Z-Achsen Antrieb ergänzt werden.
Durch die FEM - Optimierung zeichnen sich die Scanner besonders durch eine hohe Steifigkeit in der Belastungsebene und ein schnelles Ansprechverhalten in der Bewegungsebene aus.
Der große freie Innenraum ermöglicht auch die Aufnahme größere optischer Bauelemente.
Die Scanner sind als OEM-Systeme konzipiert und können daher entsprechend Anforderungs- und Umgebungsbedingung optimiert angepaßt werden.
- linearer Stellweg bis zu 200µm
- sehr gutes dynamisches Verhalten
- hohe Z-Achsen Steifigkeit
- exzellente Führungsgenauigkeit
- Auflösung <0,4nm
- Vakuum- / Tieftemperaturausführung
- Option: Positionssensor
Anwendungen:
- schnelle Scanning Anwendungen
- Positionierung optischer Komponenten
- Strahlablenkung / -justage
- Profilometrie
