microTRITOR
3D Piezo - Positioniersystem
- hochparallele xyz Bewegung
- kompakte Maße bei großem Stellbereich
- spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
- hohe Auflösung im sub-nm-Bereich
- integrierte Wegübersetzung
- Stellbereich bis 9 µm
- leicht kombinierbar mit Linearsysteme als Hybridlösung
Der microTRITOR - das kleinste 3D-Piezo-Element der Welt, zeichnet sich besonders durch sein einzigartiges Design aus: mit der enorm kompakten Konstruktion ermöglicht er zuverlässlich spielfreie, parallele Bewegungen in x-, y- und z-Richtung. Der Stellbereich liegt trotz der minimalen Abmessungen bei bis zu 9µm pro Achse. Die errreichbare Auflösung liegt im sub-nm Bereich. Die microTRITOR -Elemente lassen sich unkompliziert mit mechanischen oder elektromagnetischen Antrieben zu Positioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren.
Aufgrund Ihres Aufbaus sind TRITOR-Elemente besonders für dynamische Anwendungen im Scan-Bereich geeignet.
