TRITOR 320
3D Piezo - Positioniersystem
- 50 / 50 / 400 ( x / y / z ) µm Stellbereich in ol
- 40 / 40 / 320 ( x / y / z ) ?m Stellbereich in cl
- gute dynamische Eigenschaften bei Lasten bis zu 20kg
- exzellente Führungsgenauigkeit
- hervoragende Auflösung bei höheren Belastungen
- 150x150mm freier Durchgang
Anwendungen:
- Automation
- Halbleiterindustrie
- Vakuumeinsatz
- nicht-magnetischer Einsatz
Das dreiachsige Linearstellelement TRITOR 320 ist eine Entwicklung für hochgenaue Positionierungen von großen Lasten. FEM-optimiert erreicht das Element eine herausragende Dynamik, welche schnelle präzise Positionierungen, selbst bei hoher Belastung (bis zu 20kg) mit gleichzeitig exzellenter Führungsgenauigkeit erlaubt. Angeboten werden verschiedene Ausführungen dieser Elemente - z. B. mit integriertem Meßsystem und Ausführungen für Vakuumanwendungen.
Wie alle Stellelemente von piezosystem jena arbeitet der TRITOR 320 aufgrund der drahterodierten monolithischen Festkörpergelenke spiel- und reibungsfrei. Auf Anfrage sind Vakuum- und Tieftemperaturan- passungen erhältlich, ebenso Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan. Der optionale Sensorvorverstärker (Version “extern” / “digital”) erlaubt eine kabellängenunabhängige Implementierung.
