MIPOS N100/2

Piezoelektrische Feinfokussierung für Objektive

  • 100?m Fokussierbereich
  • hohe Resonanzfrequenz
  • einfache Montage an Mikroskopen
  • universeller Einsatz durch Adapter
  • integrierter kapazitiver Sensor verfügbar


Anwendungen:

  • Oberflächen-Scannen und -Analyse
  • Halbleiter-Analyseequipment
  • Scan-Interferometrie Biotechnologie (z.B. Zelluntersuchungen)
  • Strahlfokussierung für Printprozesse
Position der MIPOS N100/2 bei Montage

Das System MIPOS N100/2 dient der präzisen Positionierung des gesamten Objektivrevolvers eines Mikroskopes. Der Positionier- und Scanbereich beträgt bis zu 100 µm mit Sub-Nanometer Auflösung.

Die MIPOS N100/2 besitzt eine Apertur von 20mm.

Das bewährte Parallelogrammprinzip des Antriebs garantiert während des Scans eine hochparallele Bewegung des Objektivrevolvers ohne Beeinflussung der optischen Achse. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet zudem eine hohe Resonanzfrequenz. Basierend auf diesen Eigenschaften können schnelle Scan-Applikationen mit geringsten Anstiegszeiten exakt realisiert werden.

Individuelle Adapterplatten für die Montage der MIPOS 100/2 zwischen dem Mikroskop und dem kompletten Objektivrevolver ermöglichen die gleichzeitige Nutzung der MIPOS N100/2 für alle am Revolver befindlichen Objektive.

 
 
 
 
 
 
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