Piezosysteme für die Interferometrie

Die Anwendungen der FIZEAU-Interferometrie und der Weißlichtinterferometrie können mit unseren Produkten realisiert werden.

Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden.

piezosystem jena hat mit der MIPOS 16-158 eine Lösung speziell für die präzise Positionierung von Optiken  in Interferometerapplikationen konzipiert.
Das System MIPOS 16-158 bietet vom konstruktiven Aufbau die wesentlichen Merkmale, um in dem Applikationsbereich der Interferometrie, besonders in der Weißlichtinterferometrie, neue Akzente zu setzen. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich neue Qualitäten in der Oberflächenanalyse.

Spezial MIPOS System 16-158

MIPOS 16-158

MIPOS System für die Messtechnik

Die MIPOS 16-158 eignet sich besonders für den Einsatz in Messgeräten. Das robuste System ist ausgestattet mit einer ultrahochauflösenden Antriebseinheit, basierend auf piezoelektrischen Aktoren. Diese können dank einer integrierten Vorspannung mit höchster Dynamik operieren und benötigen bei Schrittweiten im Nanometerbereich lediglich Mikrosekunden zur Positionierung.
Bei der Entwicklung wurde besonderes Augenmerk auf die Tragfähigkeit des Systems gelegt. Optische Komponenten mit einem Gesamtgewicht von 3kg können sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Lage positioniert werden.

In Kombination mit einer hochauflösenden Steuerelektronik von piezosystem jena können vorhandene auch System nachgerüstet werden.

Prinzipskizze

(+49) 3641 66 88-0

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