Dreidimensionales Piezo-Positioniersystem TRITOR 320 für hohe Lasten

Der TRITOR 320 ist eine Entwicklung im Bereich der XYZ-Positionierer von piezosystem jena. Der Tritor zeichnet sich durch eine hervorragende Dynamik selbst unter hohen Lasten bis zu 200 N aus und gewährleistet eine schnelle und hochpräzise Positionierung. Der TRITOR 320 verfügt über einen Stellbereich im open-loop-Betrieb von 50/50/400 µm (x/y/z) und im closed-loop-Betrieb von 40/40/320 µm. Wahlweise kann das Element mit einer freien Apertur von 150x150 mm ausgestattet werden.

Verschiedene Ausführungen des Positioniersystems sind erhältlich, wie z.B. nichtmagnetische und Vakuum-Versionen. In der closed-loop-Version werden kapazitive Sensoren eingesetzt, die eine hohe Nichtlinearität, Wiederholbarkeit und Auflösung gewährleisten.

Durch drahterodierte, monolithische Festkörpergelenke arbeitet das Piezo-Positioniersystem spiel- und reibungsfrei.

Das dreidimensionale Piezo-Positioniersystem eignet sich hervorragend für Anwendungen in der Automatisierungstechnik und Halbleiterindustrie.

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