Extrem Z-Steifer XY Piezo-Stage nanoSXY
Der neue nanoSXY 400 basiert auf den ultraschnellen nanoSX-Antriebe, flexibel montiert zu einer XY - Kombination.
- Stellbereich XY bis zu 400µm
- extrem hohe Z-Steifigkeit
- Abmessungen 60x60mm
- freie Innenapertur 12.5mm
- hohe Führungsgenauigkeit
- µsec Ansprechzeit
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