microTRITOR kleinstes 3D-Piezo-System

Kantenlänge: 15m15x15mm

Hub: 9µm je Achse

max. Last: 15N

Auflösung: >0.02nm

Basierend auf der Anforderung, atomare Strukturen zu detektieren und vermessen zu können, entwickelte piezosystem jena, der Spezialist für piezoelektrisch gesteuerte Nanopositionierer, ein neuartiges 3-Achsensystem, den microTRITOR. Das System erreicht zwar nur einen Hub von je 9 µm in den Verfahrachsen X, Y und Z, aber die Positionsauflösung liegt im sub-nm Bereich und entspricht somit genau den Anforderungen der Nanotechnologie. Durch die hohe Steifigkeit des Antriebsystems werden Resonanzfrequenzen deutlich über 2,2kHz erzielt. Dieser Wert ermöglicht eine außergewöhnliche Scanrate. Ein weiterer Eckstein der Anforderung war die geringe Baugröße, um eine Systemintegration zu erleichtern. Mit nur 15mm³ Kantenabmessung konnte auch diese Anforderung umgesetzt werden. Daher entsprechen nicht nur die technischen Daten, sondern auch die Abmessungen dem, was die Nanotechnologie fordert.

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