13.01.2012

nanoSXY - extremely stiff piezo stage with sub-nm resolution


piezosystem jena presents a new high speed piezo stage, nanoSXY 400, with a 400 µm travel range, based on the unique nanoSX design. The stage has a high load capability ans a resolution in the sub-nm range.

  • bi directional motion in XY up to 400 µm
  • sub-nm resolution
  • higher stiffness compared to common stages
  • 60x60 mm in length and width
  • free opening of 12.5 mm
  • extremly high guidance accuracy
  • response time in the µsec range

Produktkatalog von piezosystem jena

  • Anwendungsbeispiele von Piezopositionierern
  • Piezoelemente mit Nanometer-Präzision
  • Piezokomposite- Hochlastaktoren
  • Motion Control Elemente
  • Piezoline: Detaillierte Beschreibung der Piezotechnologie
  • Ausführliche Erklärung der Technologie in Hochlastaktoren

(+49) 3641 66 88-0

Unsere Ingenieure stehen Ihnen gern für eine umfassende Beratung zur Verfügung.

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