Die Piezo-Aktoren der TRITOR^® Serie zur 3D Nanopositionierung zeichnen sich durch ein schlankes, kompaktes Gehäuse-Design und eine große Apertur im Inneren aus. Das ist ideal für eine ganze Reihe von Anwendungen – etwa für die Mikroskopie mit Unterlicht oder Inspektionsanwendungen in der Halbleiter-Industrie. piezosystem jena war das erste Unternehmen überhaupt, das Aktoren dieser Art produzierte und ist bis heute der Technologieführer auf diesem Gebiet.

Die TRITOR^® Serie verfügt über Festkörpergelenke im Parallelogramm-Design, mit denen Parallelbewegungen der X,Y und Z Achsen ohne mechanisches Spiel möglich sind. Die Bewegungsreichweiten einzelner Serienelemente betragen bis zu 400 µm. Jede Achse eines TRITORs ist mit einer integrierten Vorspannung versehen, die Überschwingungen bei hohen Beschleunigungen verhindert. Die Piezo-Aktoren erreichen dadurch extrem präzise Auflösungen bei der Nanopositionierung – bis zu 0.3 nm im open loop und bis zu 1 nm im closed loop Betrieb bei bestimmten Modellen. Eine eingebaute Sensorik verhindert zudem Drift und Hysterese. 

Unsere Ingenieure haben die Anforderungen und Bedürfnisse in der Mikroskopie, der Halbleiter-Industrie und in der Materialprüfung sorgsam evaluiert und mit dem TRITOR^® Serie eine Aktoren-Familie entwickelt, die besser als jede zuvor existierende Lösung zur Nanopositionierung diese Ansprüche erfüllt.  

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