31.07.2017

Product Spotlight Juli: NanoX®


Herkömmliche Piezo-Tische sind in der Regel so konstruiert, dass die Hubrichtung der in einer Achse eingesetzten Piezo-Stacks identisch ist. Die Kräfte dieser Stacks werden anschließend durch Festkörpergelenke übersetzt. Hierbei besteht jedoch vor allem im dynamischen Betrieb die Gefahr, dass ein Stack beschädigt wird, sobald die generierten Zugkräfte die interne Vorspannung übersteigen, da die Aktorbewegung entgegen der Hubrichtung der Stacks passiv geschieht, d.h. nur durch die Rückstellkraft der Gelenke beim Zusammenziehen der Keramik erfolgt. Vor einigen Jahren machte sich piezosystem jena daran, dieses Problem anzugehen.

Herausgekommen ist das NanoX®-Design, ein völlig neues Konstruktionsverfahren für Piezo-Tische. Hierbei werden zwei Piezo-Stacks gegensätzlich angesteuert. Während sich ein Stack ausdehnt, zieht sich der zweite Stack zusammen. Daraus resultiert eine aktive Rückbewegung, d.h. sowohl die Hin- als auch die Rückbewegung geschieht unter Ausdehnung eines  Piezo-Stacks. So erhöht sich nicht nur die Steifigkeit des Systems, die Stage ist im Vergleich zu Aktoren mit ähnlichen Hüben zudem in der Lage, höhere Lasten zu tragen und höhere Kräfte zu entwickeln. 

Die NanoX®- und die mehrachsigen NanoSXY-Tische gibt es heute in einer Vielzahl von Varianten.

Bild: NanoX 200

Die Hauptcharakteristiken der Systeme sind:

 

  • Hub bis 900 µm
  • Bis zu 1,1 N/µm Steifigkeit
  • Hochparallele Bewegung
  • Modelle mit Apertur
  • Geringe Anstiegszeiten
  • Bis 10 Kg Last
  • Resonanzfrequenz bis 400 Hz
  • DMS- und CAP-Sensoren verfügbar 
  • Spezialanfertigungen und OEM-Modelle möglich
  • UHV- und Kryo-Modelle verfügbar

Für weitere Informationen, mögliche Optionen für Piezo-Verstärker und eine ausführliche Beratung, wenden Sie sich bitte an unseren technischen Vertrieb. Kontaktieren Sie einfach +49(0)364166880, nutzen Sie unser Kontaktformular oder schreiben Sie uns unter info@piezojena.com. 


NEUER Produktkatalog von piezosystem jena

  • Anwendungsbeispiele von Piezopositionierern
  • Piezoelemente mit Nanometer-Präzision
  • Piezokomposite- Hochlastaktoren
  • Motion Control Elemente
  • Piezoline: Detaillierte Beschreibung der Piezotechnologie
  • Ausführliche Erklärung der Technologie in Hochlastaktoren

(+49) 3641 66 88-0

Unsere Ingenieure stehen Ihnen gern für eine umfassende Beratung zur Verfügung.

E-Mail-Adresse: info@piezojena.com

schnellkontakt

Kontaktformular

Wir melden uns schnellstmöglich bei Ihnen!

Unsere Partner weltweit