13.01.2012

XYZ positioner


nano positioning with heavy weights

piezosystem jena developed a new XYZ stage for high precision positioning of extremely heavy weights. With loads of over 10 kg, this nano positioner operates with nanometer resolution. This element achieves a motion of up to 50 µm in the X and Y-axes and up to 450 µm in the Z-direction. The high-precision capacitive measurement system guarantees long term stable positioning fidelity, linearity, and repeatability. All of these are achieved free of drift and hysteresis. Due to the solid-state hinge design, the motion is without any mechanical play or friction. A special, mechanical FEM-optimized design provides the highest dynamic performance. Thus, even with a load of over 10 kg, the stage reaches a resonant frequency of over 180 Hz in X/Y and over 50 Hz in Z-direction. The stage is also available in versions for vacuum, cryogenic, and non-magnetic applications.


Produktkatalog von piezosystem jena

  • Anwendungsbeispiele von Piezopositionierern
  • Piezoelemente mit Nanometer-Präzision
  • Piezokomposite- Hochlastaktoren
  • Motion Control Elemente
  • Piezoline: Detaillierte Beschreibung der Piezotechnologie
  • Ausführliche Erklärung der Technologie in Hochlastaktoren

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