23.01.2007

Erweiterung der Serie nanoSXY


Die Serie nanoSXY umfasst Piezo-Stages, die zum schnellen und präzisen Positionieren optischer und mechanischer Komponenten entwickelt wurden. Neben den Elementen der Serie nanoSXY 400 mit 400microns präsentiert piezosystem jena nun die neue Serie nanoSXY 120.
Die Elemente dieser Serie bieten einen Hub von bis zu 120microns in beiden Achsen. Das FEM-berechnete, auf dem bewährten nanoX-Antriebsdesign basierende System, wurde speziell für eine extrem hohe Z-Achsen-Steifigkeit optimiert. Die Antriebselemente im monolithischen Festkörpergelenksystem erzeugen eine vollkommen spielfreie Bewegung. Die spezielle Aktor-Parallelkinematik garantiert bestmögliche Führungsgenauigkeit.
Mit sehr guten dynamischen Eigenschaften und einer hervorragenden Auflösung erfüllen die Elemente der Serie nanoSXY 120 die Anforderungen von hochauflösenden Positionieranwendungen. Ebenso eignen sie sich zum Einsatz als Scanning-Stage, für alle Arten der Mikroskopie sowie in der Materialforschung und in der Halbleitertechnik.


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