02.11.2005

Extrem Z-Steifer XY Piezo-Stage nanoSXY


Der neue nanoSXY 400 basiert auf den ultraschnellen nanoSX-Antriebe, flexibel montiert zu einer XY - Kombination.

  • Stellbereich XY bis zu 400µm
  • extrem hohe Z-Steifigkeit
  • Abmessungen 60x60mm
  • freie Innenapertur 12.5mm
  • hohe Führungsgenauigkeit
  • µsec Ansprechzeit


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