23.01.2007

Hochauflösende Spiegelkippsysteme zur präzisen Strahlablenkung


piezosystem jena präsentiert zwei neue Elemente der Serie PSH: Die Systeme PSH 15/1 und PSH 30/1 stellen eine Bereicherung der Serie von Spiegelkippsysteme dar.
Beide Elemente basieren auf dem von piezosystem jena entwickelten Antriebsprinzip der Serien nanoSX und nanoX® mit bidirektionalem Antriebssystem. Dieses zeichnet sich durch eine aktive Zu- und Rückstellbewegung aus. Wesentliches Merkmal dieser Hochleistungsantriebe ist daher die sehr hohe Steifigkeit und Eigenresonanzfrequenz. Auch große Massen können daher hochdynamisch bewegt werden.
Die Spiegelkippsysteme bieten eine Verkippung von ±7.5mrad und ±15mrad in einer Achse, wobei eine maximale Positionsauflösung von 0.03µrad ermöglicht wird.
Entwickelt wurden die PSH 15/1 und PSH 30/1 speziell für den Einsatz mit 1"-Komponenten; zu bewegende Komponenten können direkt auf die Kopflatte geklebt werden, bzw. mittels einer Adapterplatte montiert werden.
Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Positionierung anderer Komponenten, als Scanning-Stage in der Optik und Lasertechnik.

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