24.10.2013

Hochdynamisches Positioniersystem für die Halbleiterindustrie

Präzise Bewegungen im Nanometerbereich mit dem TRITOR 320 CAP


Das dreiachsige Piezostellelement TRITOR 320 CAP von piezosystem jena ist ein Aktuator für hochgenaue Positionierungen. Der TRITOR 320 CAP wurde unter  Einsatz von FEM-Technologie entwickelt, mit dem Ziel genauste Positionierung und herausragende Dynamik selbst bei hoher Belastung zu erreichen. Das mit Festkörpergelenken designte Element erlaubt einen spiel- und reibungsfreien Einsatz. Der TRITOR 320 CAP erreicht durch den Einsatz von kapazitiven Sensoren eine hervorragende Präzision, die sich in einer hohen Reproduzierbarkeit und einer hervorragenden Linearität und Stabilität wiederspiegelt. Besonders für Anwendungsgebiete in der Halbleiterindustrie, Oberflächenanalyse, Maskeninspektion, ist der TRITOR 320 CAP ein hervorragendes und empfehlenwertes Produkt.

Produktbesonderheiten:

  • präzise und hochdynamische Bewegungen 
  • Belastbar bis zu 200N
  • 1nm Auflösung in closed-loop
  • Hub bis zu 320 µm
  • Vakuum-, Nichtmagnetisierbare und Tieftemperaturversionen erhältlich
  • Auf Wunsch mit Apertur 150 x 150mm erhältlich.

 

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