23.02.2006

MICI 140 - Piezo-Feinverstellung für LINOS-Kreuztische


Die Elemente der neuen Serie MICI 140 werden eingesetzt zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von Linearmesstischen. Sie bestehen aus einem piezoelektrischen Antrieb, der in Kombination mit einer Mikrometerschraube an Messtischen montiert wird.
Die neue Serie wurde entwickelt in Zusammenarbeit mit LINOS Photonics GmbH & Co. KG in Göttingen, eines der wenigen Unternehmen weltweit, die komplexe optische Systeme entwickeln und fertigen.
Besonders bezüglich der Bauform und der Resonanzfrequenz weisen die neuen Systeme hervorragende Eigenschaften auf: Sie werden in einem kleinen und kompakten Design gefertigt und arbeiten bei einem Hub von 140 µm im ungeregelten Betrieb mit Resonanzfrequenzen von über 900 Hz. Im geregelten Betrieb wird eine Auflösung von <1 nm gewährleistet.
Durch die Mikrometerschraube erfolgt die Vorjustage, die nanometergenaue Endjustage wird anschließend mittels MICI - Antrieb ausgeführt. Die MICI 140 Elemente sind kompatibel mit den LINOS - Messschrauben Typ G 7.5x24, G 7.5x16.5, G 10, G 25, G 50 und der LINOS - Feinstellschraube G 15.
Ein optionaler im Piezoaktor integrierter Positionssensor garantiert zudem eine extrem hohe Positionsstabilität und Reproduzierbarkeit. Wie alle Piezoaktoren wird der piezoelektrische Antrieb MICI wird über ein analoges Spannungssignal direkt gesteuert.

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Weitere Informationen zum Anwendungsbereich der MICI 140 bei LINOS Photonics finden Sie unter http://www.linos.de


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