06.11.2008

Neuer Piezoantrieb PXY 201 für die Nanopositionierung


piezosystem jena erweiterte die Serie PXY und bietet einen neuen XY Nanopositionier- und Mikroscanntisch mit großem freien Durchgang an.

Der PXY 201 CAP bietet eine freie Apertur von 30x30mm² und einen Verfahrweg von 250µm ungeregelt, bzw. 200µm im geregelten Betrieb. Mittels einer integrierten hochauflösenden kapazitiven Wegmesssensorik können Drift und Hysterese ausgeglichen werden. Das System bietet höchste Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Dazu erlauben digitale Controller von piezosystem jena eine Anpassung der Parameter während des Systembetriebs.

Positioniersystem PXY 201 CAPInfolge der FEM optimierten Festkörpergelenkführung weist das System eine hohe Bahntreue auf. Durch das Framedesign der Führung ist der Nanopositionier- und Mikroscanningtisch sehr robust gegen große Beladungen. Zum Minimieren von unerwünschten Überschwingen und Verkürzen der Einstellzeiten im Scannbetrieb ist der PXY 201 CAP mit integrierten passiven Dämpfungselementen ausgestattet. Als Folge wird auch das Positionsrauschen minimiert.

Aufgrund dieser Eigenschaften und der hohen Zuverlässigkeit des PXY 201 CAP ist der Nanopositionierer besonders geeignet für Anwendungen in der Scanningmikroskopie, Oberflächenanalyse, Metrologie und Alignment und im Bereich der Nanopositionierung, wo sub-nm Genauigkeiten und großer innerer Freiraum gefordert werden.

Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind verfügbar, ebenso wie Materialvariationen von Invar, Super-Invar, Aluminium oder Titan.

 

weitere Informationen über den PXY 201


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