05.12.2008

Piezo - Feinpositionierer der Serie MIPOS für die Nanopositionierung


piezosystem jena bietet zur hochpräzisen Fokussierung von Mikroobjektiven die Serie MIPOS.

Die MIPOS-Serie kann Mikroskopobjektive über eine Strecke von bis zu 500µm mit Nanometer-Genauigkeit fokussieren. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors ermöglicht eine hohe Resonanzfrequenz von bis zu 410 Herz und hochparallele Bewegungen, sowie eine upside-down Version für inverse Mikroskope.

Mittels analogem Steuersignal des Piezoverstärkers kann die Position des MIPOS-systems stufenlos im Verfahrbereich eingestellt werden. Da die Auflösung piezoelektrischer Antriebssysteme lediglich durch das Signalrauschen des Steuersignals beeinflusst wird, können Positioniergenauigkeiten im nm-Bereiche erreicht werden. Spielfreie Festkörpergelenke garantieren eine hohe Dynamik.

Der Positionierer wird im Objektivrevolver mittels eines Adapters fixiert. Die Systeme können wahlweise mit allen Standardgewinden ausgerüstet werden und sind somit uneingeschränkt an allen typischen Stativausführungen adaptierbar. Sie können mit Objektiven von bis zu 40mm Durchmesser eingesetzt werden.

Eine optionale Wegmesssensorik gleicht Hysterese- und Drifteffekte aus und bietet höchste Stabilität und Linearität im closed-loop-Betriebsmodus. Hierdurch kann der Nutzer messbar verschiedene Fokusebenen wiederholbar anfahren. Die Feinpositionierer sind besonders geeignet für Anwendungen wie Oberflächen-Scannen und -Analyse, als Halbleiter-Analyseequipment, in der Scan-Interferometrie, in der Biotechnologie (z.B. Zelluntersuchungen) und für die Strahlfokussierung für Printprozesse.

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