23.02.2006

ROTOR - hoch dynamischer Piezo-Drehtisch


Das Positioniersystem ROTOR 10 SG realisiert eine im µrad-Bereich auflösende Drehbewegung. Das besondere Antriebsprinzip ermöglicht einen rotorischen Scanbereich von bis zu 11mrad um eine zentrale angeordnete Achse. Die zentrale, freie Apertur ermöglicht das Durchführen optischer Strahlen oder einer optischen Faser.
Aufgrund der FEM-Optimierung des Aktors werden ein höchst dynamisches Verhalten und eine exzellente Führungsgenauigkeit garantiert. Ergänzt wird dies sogar noch durch die Möglichkeit, große Massen präzise bewegen zu können. Aufgrund des bi-direktionalen Antriebsdesigns besitzt das System ROTOR ein vollkommen temperaturkompensiertes Verhalten. Somit sind jegliche Temperaturänderungen ohne Einfluss auf die Arbeit des Aktors.
Um Drift und Hysterese zu vermeiden ist der ROTOR 10 SG mit einem hoch auflösendem DMS-Messsystem ausgestattet.
Anwendung finden die ROTOR Systeme in Scan - Anwendungen, der Lithographie und in Bereichen der Laserstrahllenkung.
Kombiniert mit der speziellen Steuerungstechnik von piezosystem jena, werden im closed loop Betrieb hohe Stabilität, Linearität und Wiederholbarkeit erreicht.
Das kompakte Design mit Raster-Stiftlöchern und Gewindebohrungen gestattet eine einfache Integration des ROTOR 10SG in ein bereits vorhandenes System.
Vakuum- und Tieftemperatur-Ausführungen sind auf Anfrage erhältlich. Es werden außerdem verschiedene Materialien angeboten: Invar, Superinvar, Aluminium und Titan.

Weitere Informationen über den ROTOR hier.

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