03.05.2005

Verbesserung der Positioniergenauigkeit von Linearmesstischen durch Piezoantrieb


Zur Verbesserung der Positioniergenauigkeit von Linearmesstischen wurde von piezosystem jena ein spezielles Antriebselement mit der Bezeichnung "MICI" entwickelt. Es handelt sich um einen piezoelektrischen Antrieb der es ermöglicht, den Mikrometerschraubenantrieb des Messtisches im Bereich von bis zu 180µm mit einer Genauigkeit <35nm zu positionieren. Dabei wird der Piezoantrieb "MICI" an der Schnittstelle zwischen Mikrometerschraube und Messtisch montiert und mit beiden mittels Klemmung verbunden. Durch die Messschraube erfolgt die Vorjustage, die nanometergenaue Endjustage wird anschließend mittels MICI - Antrieb ausgeführt. Ein optionaler im Piezoaktor integrierter Positionssensor garantiert zudem eine extrem hohe Positionsstabilität und Reproduzierbarkeit. Der piezoelektrische Antrieb MICI wird wie alle Piezoaktoren über ein analoges Spannungssignal direkt gesteuert. Die konstruktive Auslegung der MICI erlaubt eine Modifizierbarkeit für alle gängigen Typen von Mikrometerschrauben.


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