27.09.2007

XYZ Positionierer


Nanopositionierung mit hohen Lasten

piezosystem jena entwickelte einen neuen XYZ Positionierer für die hochpräzise Positionierung von großen Lasten. Trotz einer Belastbarkeit von über 10 kg arbeitet der Positioniertisch im Bereich von Nanometern. Das Element erreicht Stellwege bis 50 µm in X- und Y-Achse und bis zu 450 µm in Z-Richtung. Eine hochgenaue kapazitive Wegmesssensorik eliminiert Hysterese- und Drifteffekte und bietet höchste Stabilität, Linearität und Wiederholbarkeit im "closed Loop" Betriebsmodus. Besondere Festkörpergelenke erlauben eine vollkommen spiel- und reibungsfreie Führung. Durch ein spezielles, mechanisches FEM-optimiertes Design der Antriebskörper wurden die höchst möglichen dynamischen Eigenschaften generiert, wodurch auch mit einer Last von über 10 kg noch eine Resonanzfrequenz über 180 Hz in X/Y bzw. über 50 Hz in Z-Richtung erreicht wird.

In Sonderausführung ist das System auch für Vakuumumgebungen und nicht magnetische Applikationen qualifiziert.


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