23.01.2007

PZ 100 CAP: kompakter Piezoaktuator mit kapazitivem Wegmesssystem


Neben linearen x- und x/y Positioniersystemen bietet piezosystem jena mit der Serie PZ auch kompakte Stellelemente für die z-Richtung an. Damit steht dem Anwender ein umfangreiches und kostengünstiges Antriebselementeprogramm zur Verfügung, welches sich modular ergänzen und für verschiedene Einsatzzwecke anpassen läßt.
Der maximale Hub der Serie PZ 100 beträgt 100 microns. Grundprinzip der vollkommen spielfreien und verschleißfreien Bewegung sind mittels FEA-Analyse berechnete Festkörpergelenke. Damit wird eine höchst parallele Bewegung erzeugt. Die z-Positioniersysteme besitzen eine typische Eigenresonanzfrequenzen im Bereich 500 und 750 Hz. Ein dynamischer Betrieb ist daher problemlos möglich.
Wenn erforderlich wird ein Wegmeßsystem integriert, um eine hohe Positioniergenauigkeit zu gewährleisten. Ausgerüstet mit einem kapazitivem Wegmesssystem, erreicht der PZ 100 eine Positionsauflösung von <1nm!
Optional können Ausführungen für Vakuumanwendungen sowie Tieftemperaturvarianten angeboten werden. Anwendung finden die Positionierelemente in den Bereichen Faserpositionierung, Laseroptik, Meßtechnik, Mikroskopie oder als Mikromanipulatoren, zum Beispiel in der Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik.
mehr Informationen über die PZ 100 CAP


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