精确定位与高速移动的专业领导者

现代电子芯片架构已经缩小到纳米级，在半导体工业生产中基于品质控制及高精度测量的要求，压电驱动器可提供：

• 摆动精准定位控制在µm 和nm 级
• 快速半导体研究扫描系统
• 晶圆支架和晶圆调整装置

现代显微任务要求越来越高的图像分辨率以及3D图像扫描系统。除了利用新开发的特殊光学方法（如STED，TIRF...）来获得在生物学领域越来越多的详细信息之外，同时包括其他应用方法：

• 自动对焦
• 共聚焦显微镜和三维成像系统
• 服务于现代研究的定位系统如STED；TIRF；DIC；2光子显微镜
• 可集成到几乎所有的主流显微镜的定位系统

激光几乎应用于我们生活中的方方面面。复杂的激光器和光学系统组件要求非常精细的调整和稳定定位，压电驱动器可用于：

• 光学系统及镜头的校准
• 镜像调节，快速仰角调整及扫描
• 干涉

在晶片或扁平镜面等平面结构上的检测要求越来越精准的操作，在相关计量任务中越快的循环时间要求越短的响应时间。Piezosystem Jena提供的压电驱动器和闭环扫描系统可以确保满足以上需求。它们可以应用于：

• AFM，原子力显微镜
• 快速扫描
• 材料研究

压电闭环驱动器能够在真空，低温环境中顺利工作，并且可以被制成非磁性结构。应用于：

• 真空高压环境中的精确调校
• 低温环境中的定位及运动系统

Piezosystem Jena设计生产的压电复合驱动器能够承受极短脉冲和高达上万牛顿的冲击。这些产品应用于

• 减振隔离
• 材料研究（生成具有高加速度的冲击波）
• 疲劳试验（长时间高频振动）
• 地质学

Piezosystem Jena在致力于开发具有极高技术参数的定制系统上有着良好的传统。具备快速的模拟&数字闭环控制系统的强大控制器能够完美解决客户的特殊需求，而基于我们灵活且专业的整合能力，能够为客户提供最具性价比的解决方案。

在光谱分析学以及生产线的质量控制系统中，光纤开关有着广泛的应用。Piezosystem Jena开发的光纤交换机利用光纤开关切换多模通道，通道数量可达18路。由于在光通道中没有光学器件，是直接切换，故而切换通道不会影响光谱的顺序。基于压电驱动技术，通道切换时间可达到毫秒级。

• 同步
• 光学实验室中校准

基于压电驱动器的压电效应，加载一个电信号可以反馈回非常精准的位移动作。

压电效应的结果取决于不同的参数，例如：压电陶瓷的长度和加载电压的大小。10mm长度的陶瓷可以在压电效应下产生10-15mm的位移。高质量的电介质可以达到低于1nm的动作灵敏度。

压电驱动器能够产生数千牛顿的力作用以及提供高达数千赫兹的谐振频率。.

某些应用需要10-100µm的较大运动行程，因此Piezosystem Jena将直接驱动器与特制的固态铰链结构组装到一起以达到高行程的目的。

这些闭环驱动器的特点：

• 位移达2mm
• 子纳米级的精度
• 极高的谐振频率(扫描，振动，脉冲达60kHz)
• 真空及低温等极端环境下的适用性

复合压电致动器具有如下特性：达10g的加速度，频率超过100kHz的高动态振动以及上万牛顿的驱动力。

数层压电陶瓷介质堆叠组合技术以保证如上特性的实现。同时，相比现有的多层压电技术，由不同陶瓷材料及外壳组合而成的产品可以实现更好的动力学特征。