정확하고 빠른 모션을 선도하는 전문가

최근의 전자 칩들은 나노미터 단위 크기의 구조를 기반으로 하고 있습니다. 반도체 산업에서 제조, 품질 관리와 정확한 측정을 위하여 압전 스테이지(Piezoelectric Stage)는 아래의 기능을 제공합니다.

• 나노미터의 정밀도를 이용한 웨이퍼의 정밀한 위치조정
• 고속의 반도체 조사를 위한 스캐닝 시스템
• 웨이퍼 홀더와 웨이퍼 조정 장치

최근의 현미경 작업은 3D이미징을 위하여 더 높은 영상 해상도와 스캐닝 시스템을 필요로 합니다. 새로운 특수 광학 기법들 (STED, TIRF… )은 생물학뿐만 아니라 다른 응용 분야에서도 더욱 상세한 정보를 얻기 위하여 개발 되었습니다.

• 자동 초점 응용 분야
• 공초점 현미경 및 3D 이미징 시스템
• STED, TIRF, DIC, 2광자 현미경 같은 최신식 조사 방법에 대한 위치제어 시스템
• 거의 모든 주요 현미경에 통합될 수 있는 위치제어 시스템

레이저는 우리 삶의 거의 모든 분야에서 사용이 됩니다. 복잡한 레이저 및 광학 시스템은 구성 요소의 매우 미세한 조정 및 안정적인 위치제어를 필요로 합니다. 압전 스테이지(Piezoelectric Stage)는 이러한 분야에 사용될 수 있습니다.

• 광학 시스템과 렌즈의 조정
• 미러 조정, 빠른 기울기와 스캐닝
• 간섭 측정(Interferometry)

다른 광학 방법을 사용하는 웨이퍼 또는 평면 스크린 표면상의 구조물의 검사는 더 정확한 움직임을 필요로 합니다. 검사 업무의 빠른 싸이클 타임은 더 낮은 응답시간을 필요로 합니다. Piezosystem Jena의 압전 액츄에이터(Piezoelectric Actuator)와 스캐닝 스테이지는 이러한 요구들을 보장할 수 있습니다. 이들은 아래와 같은 분야에서 사용됩니다.

• AFM – 원자현미경
• 고속 스캐닝
• 재료/물질 연구

압전 스테이지(Piezoelectric stages)는 낮은 온도와 진공 상태에서도 작동할 수 있으며, 비-자성체 구성으로 제조할 수 있습니다. 아래와 같은 분야에서 사용됩니다.

• 진공 및 고진공 상태에서 정밀한 조정
• 아주 낮은 온도에서 작동하는 시스템

Piezosystem Jena의 압전 복합 액츄에이터(Piezocomposite actuators)는 아주 짧은 펄스파형과 수십kN까지 높은 힘을 발생시킬 수 있습니다. 아래와 같은 분야에서 사용됩니다.

• 진동의 감쇠 및 차단
• 재질/물질 연구조사(빠른 가속도와 함께 충격파를 발생)
• 피로 시험(장시간 동안 고주파 진동)
• 지질학

Piezosystem Jena는 최고의 기술적 파라미터로 사용자 정의 시스템 개발에 있어서 오랜 전통을 가지고 있습니다.

고속 아날로그 및 디지털 폐쇄 루프 제어를 포함하는 새로운 강력한 앰프(Amplifier)는 특별한 고객의 요구에 따라 우수한 솔루션을 제공합니다. 우리의 융통성과 기술적 구성으로 인하여 우리는 가격과 성능에 있어서 가장 효율적인 솔루션을 보장합니다

광섬유 스위치의 응용분야는 분광법과 생산 라인의 품질 관리부분 입니다.

Piezosystem Jena의 광섬유 스위치 장비는 다른 채널 사이의 광섬유에 빛을 전환하기 위하여 개발되었습니다. 최대 18개 채널의 스위치를 사용할 수 있습니다. 우리는 빛의 경로 내에 광학 요소들 없이 직접적인 전환 방식을 사용하여, 스위치로 인한 스펙트럼 영역에는 변화가 없습니다. 압전체(Piezoelectronic)의 사용을 기초로 하여 밀리초(milliseconds) 범위의 빠른 스위칭 시간으로 구동할 수 있습니다.

OEM 스테이지는 다양한 산업분야에 완벽하게 적용 가능합니다. “The Pure Edge 240 Collimator”는 싱크로트론의 적절한 예 입니다. 이 시스템은 수 밀리초(ms)내에 다른 크기의 빔 사격형을 제공합니다. 이 장치는 2직교 피에조 슬릿 “PZS 4 SG”모델에 기반하여 제작되었습니다.

• 싱크로트론 응용분야
• 광학 연구실에서의 조정

기술은 압전 액츄에이터(Piezoelectric Actuator)에 기초합니다. 전기적 신호는 압전 세라믹(Piezo-Ceramic) 액츄에이터에 제공됩니다. 그러면 액츄에이터는 압전 효과(Piezoelectric effect)에 기반하여 매우 정밀하게 확장됩니다.

압전 효과(Piezoelectric effect)는 다른 매개 변수(예를 들어 세라믹의 길이와 인가된 전압)에 따라 달라집니다. 10mm의 전체길이를 갖는 세라믹 액츄에이터는 약 10-15 µm의 확장을 생성할 수 있습니다. 전자 활동의 품질에 따라 움직임은 1nm미만의 분해능에 도달할 수 있습니다

압전 액츄에이터는 수kN의 힘을 생성할 수 있고, 수kHz의 주파수로 매우 빠르게 동작할 수도 있습니다.

이러한 압전 스테이지들은 아래와 같은 내용을 수행할 수 있습니다.

• 2mm까지의 이동범위 생성
• 서브 나노 미터 단위의 분해능 실현
• 매우 빠른 작업(스캐닝, 진동, 펄스, 60kHz 까지)
• 진공 환경과 낮은 온도에서의 작동

압전 복합 액츄에이터(Piezo-composite actuators)는 펄스와 함께 최대 10,000g의 가속도를 생성할 수 있고, 높은 동적 진동은 100kHz의 주파수와 수십kN의 힘으로 생성할 수 있습니다.

이러한 성능의 특징을 구현하기 위하여, 세라믹 플레이트들은 몇 개의 층으로 적층 및 결합이 됩니다. 다른 세라믹 재료와 하우징 케이스는 기존의 적층 압전 기술에 비해 더 좋은 동적 파라미터들을 달성하기 위하여 결합될 수 있습니다.

링 타입 액츄에이터는 전체적으로 효과적인 냉각구조 때문에 역동적으로 작동이 가능합니다. 이런 액츄에이터는 종종 중앙의 구멍을 통하여 레이저 응용 분야에 사용 됩니다.