Piezo-Aktoren - Systeme zur Mikro- und Nanopositionierung

Unter Ausnutzung des inversen piezoelektrischen Effektes von so genannten PZT-Keramiken realisieren die Piezoantriebe (Piezo-Aktoren) extrem hochauflösende Nanopositionierungen. Durch eine angelegte Spannung wird ein elektrisches Feld in der Keramik erzeugt, welches zu einer Ausrichtung der Struktur im Gitteraufbau der Keramik führt.

Die resultierende Längenänderung wird von piezosystem jena als Antriebselement genutzt. Da die Bewegung nur ein Bruchteil der eigentlichen Aktorlänge beträgt, wird diese durch ein Hebelsystem mit Festkörpergelenken verstärkt.
Somit kann piezosystem jena Antriebs- und Positioniersysteme anbieten, die sich sowohl durch Nanometer genaue Positionierung als auch durch extrem große Stellwege (bis 1,5 mm) auszeichnen.


Produktpalette unserer Piezo-Aktoren

Stapelaktoren ohne Gehäuse

Stapelaktoren mit Gehäuse

Piezoaktoren in Ringausführung

Hochlastaktoren – Piezocomposite

1-Achse – PU-Aktoren

X-Achse – PX-Piezotische

Z-Achse – PZ-Piezotische

Hochlast-Piezotische – nanoX

XY-Achse – PXY-Piezotische

XYZ-Achse – TRITOR

5-Achsen – PENTOR

Piezo-Rotationsantrieb – ROTOR

Objektivpositionierer – MIPOS

Spiegelkipp- und Scansysteme – PSH

Mikrometerschraubendreher – MICI

Shuttersystem-Spaltantrieb – PZS

Piezo-Greifer – GRIPPY

Faserpositioniersystem – FAPOS


Das spezielle, auf FEM-Berechnungen basierende Design der Nano-Positioniersysteme, garantiert dabei besonders hohe Steifigkeiten, die wiederum Anstiegszeiten und Frequenzgang der Systeme charakterisieren. Die Effekte von Drift und Hysterese werden mittels hochauflösender Messsysteme und besonders angepassten Steuerungen vermieden. Die mit extrem flexiblen Isolationsmaterialien versehenen Piezoaktoren garantieren dabei eine sehr lange Haltbarkeit. Auch unter höchstdynamischen Anforderungen haben diese in mehr als 23 Jahren ihre Zuverlässigkeit bewiesen.

Dank ihrer besonderen Eigenschaften in Bezug auf Dynamik, Auflösung und Kraft, eignen sich piezo-basierte Positioniersysteme ideal für eine Reihe von Anwendungen:

  • Ventilsteuerung
  • Laserkollimatoren
  • Mikro- und Nanopositionierung
  • Laserscanning
  • Spiegeljustage
  • Faserpositionierung
  • Messtechnik
  • Mikroskoppositionierung
  • Screening
  • Mikroinjektion
  • Waferpositionierung
  • Halbleiterindustrie
  • Strahlfokussierung
  • AFM, SNOM, RAMAN
  • Materialforschung
  • Laserschweißen
  • Defekterkennung

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