Piezo-Aktoren - Systeme zur Mikro- und Nanopositionierung

Unter Ausnutzung des inversen piezoelektrischen Effektes von so genannten PZT-Keramiken realisieren die Piezoantriebe (Piezo-Aktoren) extrem hochauflösende Nanopositionierungen. Durch eine angelegte Spannung wird ein elektrisches Feld in der Keramik erzeugt, welches zu einer Ausrichtung der Struktur im Gitteraufbau der Keramik führt.

Die resultierende Längenänderung wird von piezosystem jena als Antriebselement genutzt. Da die Bewegung nur ein Bruchteil der eigentlichen Aktorlänge beträgt, wird diese durch ein Hebelsystem mit Festkörpergelenken verstärkt.
Somit kann piezosystem jena Antriebs- und Positioniersysteme anbieten, die sich sowohl durch Nanometer genaue Positionierung als auch durch extrem große Stellwege (bis 1,5 mm) auszeichnen.

Stapelaktoren ohne Gehäuse
Stapelaktoren mit Gehäuse
Piezoaktoren in Ringausführung
Hochlastaktoren – Piezocomposite
1-Achse – PU-Aktoren
X-Achse – PX-Piezotische
Z-Achse – PZ-Piezotische
Hochlast-Piezotische – nanoX
XY-Achse – PXY-Piezotische
XYZ-Achse – TRITOR
5-Achsen – PENTOR
Piezo-Rotationsantrieb – ROTOR
Objektivpositionierer – MIPOS
Spiegelkipp- und Scansysteme – PSH
Mikrometerschraubendreher – MICI
Shuttersystem-Spaltantrieb – PZS
Piezo-Greifer – GRIPPY
Faserpositioniersystem – FAPOS

Das spezielle, auf FEM-Berechnungen basierende Design der Nano-Positioniersysteme, garantiert dabei besonders hohe Steifigkeiten, die wiederum Anstiegszeiten und Frequenzgang der Systeme charakterisieren. Die Effekte von Drift und Hysterese werden mittels hochauflösender Messsysteme und besonders angepassten Steuerungen vermieden. Die mit extrem flexiblen Isolationsmaterialien versehenen Piezoaktoren garantieren dabei eine sehr lange Haltbarkeit. Auch unter höchstdynamischen Anforderungen haben diese in mehr als 23 Jahren ihre Zuverlässigkeit bewiesen.

Diese Eigenschaften der piezo-basierenden Nano-Positioniersysteme (Piezo-Aktoren) ermöglichen den Einsatz in einer Vielzahl von Applikationsgebieten:

  • Ventilsteuerung
  • Laserkollimatoren
  • Mikro- und Nanopositionierung
  • Laserscanning
  • Spiegeljustage
  • Faserpositionierung
  • Messtechnik
  • Mikroskoppositionierung
  • Screening
  • Mikroinjektion
  • Waferpositionierung
  • Strahlfokussierung
  • AFM, SNOM, RAMAN
  • Materialforschung
  • Laserschweißen
  • Defekterkennung
Quicklinks

 
Erklärungen zu Aktoreigenschaften

 

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