Hochleistungssysteme zur Nanopositionierung – NanoX®-Technologie von piezosystem jena
Eigenschaften NanoX® Serie:
Stellbereich bis 900 µm
Apertur für Strahlführung
Hohe 
hochparallele Führung
geringe 
sub-nm 
Beispieldarstellung
NanoSXY 400 CAP
Animation: NanoX 400 mit 5 kg Zuladung
Produktübersicht – Serie mit NanoX®-Technologie
NanoX 200
- Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
- Max. Last: 10 kg
- fres= 400 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version SG oder CAP)
NanoX 400
- Stellweg: bis zu 480 µm in X-Achse
- Max. Last: 5 kg
- fres = 250 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version SG oder CAP)
NanoSX 400
- Stellweg: bis zu 450 µm in X-Achse; flaches Design
- Max. Last: 10 kg
- fres= 280 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoSX 800
- Stellweg: bis zu 900 µm in X-Achse
- Max. Last: 5 kg
- fres = 200 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoSXY 120
- Stellweg: bis zu 120 µm in XY-Achse
- Max. Last: 10 kg
- fres = 280 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoSXY 400
- Stellweg: bis zu 450 µm in XY-Achse
- Max. Last: 5 kg
- fres = 200 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoX 240
- Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
- Strahlumlenkung 90°
- Anwendung: Zylinderkopfinspektionssystem
NanoX®-Technologie erklärt
Konventionelle Piezo-basierte Nanopositionierer werden pro Achse mit nur einem Piezo-Stack (Piezo-Aktor) in die gewünschte Richtung gesteuert. Um den Hub in Achsenrichtung zu übertragen, ist dieser zwischen entsprechenden Festkörpergelenken eingespannt. Die durch Ansteuern des Aktors erzeugte Kraft, wird dann in die jeweilige Bewegungsrichtung des Nanopositionierers umgesetzt. Der Nachteil dieses Bauprinzips: Zugkräfte, die die interne Vorspannung übersteigen, können zu Schäden am Piezo-Stack führen.
Die NanoX®-Technologie von piezosystem jena löst dieses Problem auf einfache Art und Weise:
Die Bewegung des Nanopositionierers wird hier durch zwei Piezo-Stacks erreicht. Beide Stapelaktoren bewegen sich in die jeweils entgegengesetzte Richtung – wechselwirkend auf der gleichen Achse. Während ein Stapelaktor seinen Hub vollführt, fährt der andere Aktor in seine Ausganglage zurück. Dadurch wird die Steifigkeit des Nanopositionierers (Piezotisch) erhöht und höhere Druck- und Zugkräfte können auf den Stapelaktor wirken ohne Schäden zu verursachen.
piezosystem jena bietet verschiedene Piezo-Tische für die Nanopositionierung an, die mit dem NanoX®-Prinzip arbeiten. Sie erreichen Steifigkeitswerte von bis zu 1.1 N/µm bei einem maximalen Hub bis zu 900 µm. Eine weitere Variante dieser Nanopositionierer (Piezo-Tische) mit NanoX®-Technologie ist die Serie NanoSX. Diese Nanopositionierer sind besonders flache Piezo-Tische.
Die Serie NanoSXY erweitert den Anwendungsbereich der NanoX®-Produktpalette um XY-Positionierer.
Systeme für die Nanopositionierung mit NanoX®-Technologie eignen sich ideal für Anwendungen, die hohe Dynamiken verlangen - etwa das das Scannen mit hohen Geschwindigkeiten, zum aktiven Dämpfen oder zur Vibrationskontrolle.
Schnelligkeit, Präzision und Kraft - das sind die wesentlichen Merkmale, die einen Piezo-Antrieb charakterisieren. Die Nanopositionierer der Serie NanoX sind optimiert um große Lasten exakt zu positionieren. So wurde der Nanopositionierer NanoX 400 entwickelt, um eine Masse von 10 kg noch dynamisch mit einer Präzision im Nanometerbereich zu positionieren. Solche Anforderungen zur hochgenauen Nanopositionierung mit Piezo-Tischen finden in der Halbleiterindustrie und der Automatisierung Anwendung.
Mehr Informationen finden Sie in unserer piezopedia.