Hochleistungs-Nanopositioniersysteme mit NanoX®-Technologie von piezosystem jena
Eigenschaften NanoX® Serie:
Stellbereich bis 900 µm
Apertur für Strahlführung
Hohe 
hochparallele Führung
geringe 
sub-nm 
Beispieldarstellung
NanoSXY 400 CAP
Animation: NanoX 400 mit 5 kg Zuladung
Produktübersicht – Serie mit NanoX®-Technologie
NanoX 200
- Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
- Max. Last: 10 kg
- fres= 400 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version SG oder CAP)
NanoX 400
- Stellweg: bis zu 480 µm in X-Achse
- Max. Last: 5 kg
- fres = 250 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version SG oder CAP)
NanoSX 400
- Stellweg: bis zu 450 µm in X-Achse; flaches Design
- Max. Last: 10 kg
- fres= 280 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoSX 800
- Stellweg: bis zu 900 µm in X-Achse
- Max. Last: 5 kg
- fres = 200 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoSXY 120
- Stellweg: bis zu 120 µm in XY-Achse
- Max. Last: 10 kg
- fres = 280 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoSXY 400
- Stellweg: bis zu 450 µm in XY-Achse
- Max. Last: 5 kg
- fres = 200 Hz bei 0.1 kg
- optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)
NanoX 240
- Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
- Strahlumlenkung 90°
- Anwendung: Zylinderkopfinspektionssystem
NanoX®-Technologie erklärt
Konventionelle Piezo-basierte Positioniersysteme werden pro Achse mit nur einem Piezo-Stack (Piezo-Aktor) in die gewünschte Richtung gesteuert. Um den Hub in Achsenrichtung zu übertragen, ist dieser zwischen entsprechenden Festkörpergelenken eingespannt. Die durch Ansteuern des Aktors erzeugten Kraft, werden dann in die jeweilige Bewegungsrichtung des Aktors umgesetzt. Der Nachteil dieses Bauprinzips: Zugkräfte, die die interne Vorspannung übersteigen, können zu Schäden am Piezo-Stack führen.
Die NanoX®-Technologie von piezosystem jena löst dieses Problem auf intelligente Art:
Die Bewegung des Systems wird hier durch zwei Piezo-Stacks erreicht. Beide Aktoren bewegen sich in die jeweils entgegengesetzte Richtung, wechselwirkend auf der gleichen Achse. Während ein Aktor seinen Hub vollführt, fährt der andere Aktor in seine Ausganglage zurück. Dadurch wird die Steifigkeit des Piezo-Tisches erhöht und höhere Druck- und Zugkräfte können auf den Aktor wirken ohne Schäden zu verursachen.
piezosystem jena bietet verschiedene Piezo-Tische an, die nach dem NanoX®-Prinzip arbeiten. Sie erreichen Steifigkeitswerte von bis zu 1.1 N/µm bei einem maximalen Hub bis zu 900 µm. Eine weitere Variante dieser Piezo-Tische mit NanoX®-Technologie ist die Serie NanoSX. Diese Piezo-Tische sind besonders flache Piezo-Positionierer.
Die Serie NanoSXY erweitert den Anwendungsbereich der NanoX®-Produktpalette um XY-Positionierer.
Positioniersysteme mit NanoX®-Technologie eignen sich ideal für Anwendungen, die hohe Dynamiken verlangen - etwa das das Scannen mit hohen Geschwindigkeiten, zum aktiven Dämpfen oder zur Vibrationskontrolle.
Schnelligkeit, Präzision und Kraft - das sind die wesentlichen Merkmale, die einen Piezo-Antrieb charakterisieren. Die Nanopositioniersysteme der Serie NanoX sind optimiert um große Lasten exakt zu positionieren. So wurde der Nanopositionierer NanoX 400 entwickelt, um eine Masse von 10 kg noch dynamisch mit einer Präzision im Nanometerbereich zu positionieren. Solche Anforderungen zur hochgenauen Nanopositionierung mit Piezo-Tischen finden in der Halbleiterindustrie und der Automatisierung Anwendung.
Mehr Informationen finden Sie in unserer piezopedia.