Hochleistungs-Nanopositioniersysteme mit NanoX®-Technologie von piezosystem jena

Eigenschaften NanoX® Serie:

  Stellbereich bis 900 µm
 Apertur für Strahlführung
  Hohe Steifigkeit
hochparallele Führung
 geringe Anstiegszeit 
sub-nm Auflösung

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NanoSXY 400 CAP
NanoSXY 400 CAP
Animation: NanoX 400 mit 5 kg Zuladung
Animation: NanoX 400 mit 5 kg Zuladung

Produktübersicht – Serie mit NanoX®-Technologie

NanoX 200

 

NanoX 200 / 200 SG / 200 CAP

  • Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
  • Max. Last: 10 kg
  • fres= 400 Hz bei 0.1 kg
  • optional mit integriertem Positionssensor (Version SG oder CAP)

NanoX 400

 

NanoX 400 / 400 SG / 400 CAP

  • Stellweg: bis zu 480 µm in X-Achse
  • Max. Last: 5 kg
  • fres = 250 Hz bei 0.1 kg
  • optional mit integriertem Positionssensor (Version SG oder CAP)

NanoSX 400

 

NanoSX 400 / NanoSX 400 CAP

  • Stellweg: bis zu 450 µm in X-Achse; flaches Design
  • Max. Last: 10 kg
  • fres= 280 Hz bei 0.1 kg
  • optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)

NanoSX 800

 

NanoSX 800 / NanoSX 800 CAP

  • Stellweg: bis zu 900 µm in X-Achse
  • Max. Last: 5 kg
  • fres = 200 Hz bei 0.1 kg
  • optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)

NanoSXY 120

 

NanoSXY 120 / NanoSXY 120 CAP

  • Stellweg: bis zu 120 µm in XY-Achse
  • Max. Last: 10 kg
  • fres = 280 Hz bei 0.1 kg
  • optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)

NanoSXY 400

 

NanoSXY 400 / NanoSXY 400 CAP

  • Stellweg: bis zu 450 µm in XY-Achse
  • Max. Last: 5 kg
  • fres = 200 Hz bei 0.1 kg
  • optional mit integriertem Positionssensor (Version CAP)

NanoX 240

 

NanoX 240 SG 45°

  • Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
  • Strahlumlenkung 90°
  • Anwendung: Zylinderkopfinspektionssystem

NanoX®-Technologie erklärt

Konventionelle Piezo-basierte Positioniersysteme werden pro Achse mit nur einem Piezo-Stack (Piezo-Aktor) in die gewünschte Richtung gesteuert. Um den Hub in Achsenrichtung zu übertragen, ist dieser zwischen entsprechenden Festkörpergelenken eingespannt. Die durch Ansteuern des Aktors erzeugten Kraft, werden dann in die jeweilige Bewegungsrichtung des Aktors umgesetzt. Der Nachteil dieses Bauprinzips: Zugkräfte, die die interne Vorspannung übersteigen, können zu Schäden am Piezo-Stack führen.

Die NanoX®-Technologie von piezosystem jena löst dieses Problem auf intelligente Art: 

Die Bewegung des Systems wird hier durch zwei Piezo-Stacks erreicht. Beide Aktoren bewegen sich in die jeweils entgegengesetzte Richtung, wechselwirkend auf der gleichen Achse. Während ein Aktor seinen Hub vollführt, fährt der andere Aktor in seine Ausganglage zurück. Dadurch wird die Steifigkeit des Piezo-Tisches erhöht und höhere Druck- und Zugkräfte können auf den Aktor wirken ohne Schäden zu verursachen.

piezosystem jena bietet verschiedene Piezo-Tische an, die nach dem NanoX®-Prinzip arbeiten. Sie erreichen Steifigkeitswerte von bis zu 1.1 N/µm bei einem maximalen Hub bis zu 900 µm. Eine weitere Variante dieser Piezo-Tische mit NanoX®-Technologie ist die Serie NanoSX. Diese Piezo-Tische sind besonders flache Piezo-Positionierer. 

Die Serie NanoSXY erweitert den Anwendungsbereich der NanoX®-Produktpalette um XY-Positionierer.

Positioniersysteme mit NanoX®-Technologie eignen sich ideal für Anwendungen, die hohe Dynamiken verlangen - etwa das das Scannen mit hohen Geschwindigkeiten, zum aktiven Dämpfen oder zur Vibrationskontrolle. 

Schnelligkeit, Präzision und Kraft - das sind die wesentlichen Merkmale, die einen Piezo-Antrieb charakterisieren. Die Nanopositioniersysteme der Serie NanoX sind optimiert um große Lasten exakt zu positionieren. So wurde der Nanopositionierer NanoX 400 entwickelt, um eine Masse von 10 kg noch dynamisch mit einer Präzision im Nanometerbereich zu positionieren. Solche Anforderungen zur hochgenauen Nanopositionierung mit Piezo-Tischen finden in der Halbleiterindustrie und der Automatisierung Anwendung.

Mehr Informationen finden Sie in unserer piezopedia.

 

 

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