Piezo-Shutter/Piezo-Spaltantriebe
Eigenschaften Serie Piezo-Spaltantriebe:
- Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
- Gesteuert von nur einem Piezo-Aktor
- Spaltöffnung bis 1500 µm (1,5 mm)
- Nanometer-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version
- Optionales Wegmesssystem
Strahl-Kollimierung / Strahlformung
Anwendungen Serie Piezo-Spaltantriebe:
- Teilchenstrahlbegrenzung
- Spektroskopie
- Shutter
- Optische Schalter
Übersicht Serie Piezo-Shutter/Piezo-Spaltenantriebe
PZS 1
PZS 1 (230 µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
- Spaltöffnung bis 230 µm
- Positionsauflösung im Nanometer-Bereich
- UHV-kompatible Version erhältlich
- Optional mit Wegmesssystem
PZS 3
PZS 3 (1500 µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
- Spaltöffnung bis 1500 µm (1,5 mm)
- Nanometer-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version erhältlich
- Optional mit Wegmesssystem
PZS 2
PZS 2 (60µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
- Spaltöffnung bis 60 µm
- Nanometer-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version erhältlich
- Optional mit Wegmesssystem
PZS 4
PZS 4 (300 µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
- Spaltöffnung 300 µm
- nm-genaue Positionsauflösung
- UHV-kompatible Version erhältlich
- Optional mit Wegmesssystem
Zusammenfassung
Bei den Shuttern/Piezo-Spaltantrieben Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem einzigen Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung eingesetzt.
Damit ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) gesichert.
Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite wird die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem angeboten. Die verwendeten Dehnmessstreifen sichern dabei eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.
Die Shutter/Piezo-Spaltantriebe PZS sind mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Generell können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden.
In der UHV-Version kann das System mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.
Mehr Informationen zu Spaltschneiden: Montageformen Spaltschneiden