Eigenschaften:

• Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
• Gesteuert von nur einem Piezoaktor
• Spaltöffnung bis 230 µm
• nm-genaue Positionsauflösung
• UHV-kompatible Version
• Optionales Wegmesssystem

Anwendungen:

• Teilchenstrahlbegrenzung
• Spektroskopie
• Shutter
• Optische Schalter

Bei den Piezo-Spaltantrieben Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung eingesetzt.

Eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) ist somit gesichert.

Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermischbedingten Änderungen der Spaltbreite wird die Ausstattung mit einem Messsystem empfohlen. Die verwendeten Dehnmessstreifen gewährleisten eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die Spaltantriebe der PZS sind mit Schneiden aus Edelstahl erhältlich (Schneiden bitte separat bestellen). Allgemein können je nach Anwendung die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden.

Das Piezoelement kann in der UHV-Version mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.