Eigenschaften:

• Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
• Gesteuert von nur einem Piezoaktor
• Spaltöffnung bis 1500 µm
• Nanometer-genaue Auflösung
• UHV-kompatible Version
• Optionales Messsystem

Anwendungen:

• Spektroskopie
• Teilchenstrahlbegrenzung
• Shutter
• Optische Schalter

Beim Piezo-Spaltantrieb PZS werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Durch den Einsatz spezieller Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (geschlossener Splat) gesichert. 

Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite empfehlen wir die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem.

Der Piezo-Spaltantrieb ist mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Allgemein können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden eingesetzt werden.

In der UHV-Version ist das System mit spezieller KAPTON-Litze erhältlich.