Piezo-Spaltantrieb PZS 3 (1500 µm Spalt)
Eigenschaften:
- Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
- Gesteuert von nur einem Piezoaktor
- Spaltöffnung bis 1500 µm
- Nanometer-genaue Auflösung
- UHV-kompatible Version
- Optionales Messsystem
Anwendungen:
- Spektroskopie
- Teilchenstrahlbegrenzung
- Shutter
- Optische Schalter
Beim Piezo-Spaltantrieb PZS werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Durch den Einsatz spezieller Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (geschlossener Splat) gesichert.
Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite empfehlen wir die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem.
Der Piezo-Spaltantrieb ist mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Allgemein können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden eingesetzt werden.
In der UHV-Version ist das System mit spezieller KAPTON-Litze erhältlich.