Piezo-Positionierer für Spiegel: PSH 15/1 & PSH 30/1

Eigenschaften:

• ±7,5 mrad bzw. ±15 mrad Kippwinkel
• Hohe Schrittauflösung (0,03 µrad)
• Hervorragende Führungsgenauigkeit
• 1" Auflagefläche für Spiegel
  
  

Anwendungen:

• Präzise Strahlablenkung
• Optik
• Lasertechnik
• Lithographie
• Messtechnik
• Druckindustrie

Die Piezo-Positionierer PSH 15/1 und PSH 30/1 aus der Serie PSH wurden zum schnellen und präzisen Positionieren optischer Spiegel entwickelt.

Die FEM-berechneten Systeme wurden speziell für 1" große Komponenten konzipiert.

Diese Piezoelemente basieren auf dem von Piezosystem Jena entwickelten erfolgreichen nanoX^® Antriebsprinzip. Dieses bidirektionale Antriebssystem der Serien nanoSX und nanoX^® zeichnet sich durch eine aktive Zu- und Rückstellbewegung aus.

Wesentliches Merkmal dieser Hochleistungsantriebe ist daher die sehr hohe Steifigkeit und Eigenresonanzfrequenz - auch große Massen können hochdynamisch bewegt werden.

Die bidirektionale Antriebsweise dieser Piezo-Positionierer verleiht dem System eine hohe Robustheit und Unempfindlichkeit gegenüber externen Kräften.

Die zu bewegenden Komponenten können direkt auf die Kopflatte geklebt werden bzw. mittels Adapterplatte montiert werden.