Piezo-Positionierer für Spiegel: PSH 15/1 & PSH 30/1
Eigenschaften:
- ±7,5 mrad bzw. ±15 mrad Kippwinkel
- Hohe Schrittauflösung (0,03 µrad)
- Hervorragende Führungsgenauigkeit
- 1" Auflagefläche für Spiegel
Anwendungen:
- Präzise Strahlablenkung
- Optik
- Lasertechnik
- Lithographie
- Messtechnik
- Druckindustrie
Die Piezo-Positionierer PSH 15/1 und PSH 30/1 aus der Serie PSH wurden zum schnellen und präzisen Positionieren optischer Spiegel entwickelt.
Die FEM-berechneten Systeme wurden speziell für 1" große Komponenten konzipiert.
Diese Piezoelemente basieren auf dem von Piezosystem Jena entwickelten erfolgreichen nanoX® Antriebsprinzip. Dieses bidirektionale Antriebssystem der Serien nanoSX und nanoX® zeichnet sich durch eine aktive Zu- und Rückstellbewegung aus.
Wesentliches Merkmal dieser Hochleistungsantriebe ist daher die sehr hohe Steifigkeit und Eigenresonanzfrequenz - auch große Massen können hochdynamisch bewegt werden.
Die bidirektionale Antriebsweise dieser Piezo-Positionierer verleiht dem System eine hohe Robustheit und Unempfindlichkeit gegenüber externen Kräften.
Die zu bewegenden Komponenten können direkt auf die Kopflatte geklebt werden bzw. mittels Adapterplatte montiert werden.
