Piezohubtisch Serie TRITOR® 102

Eigenschaften:

• Freier Innendurchmesser 40 mm
• Hochparallele xyz-Bewegung durch Federparallelprogramme
• Kompakte Maße bei großem Stellbereich
• Spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
• Hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
• Integrierte Wegübersetzung
• Stellbereich bis 100/80 µm (open/closed loop)

Applikationsbeispiele:

• Mikroskopie
• Scan-Anwendungen

Die Piezohubtische der Serie TRITOR^® 102 ermöglichen eine spielfreie parallele Bewegungen in x-, y- und z-Richtung. Sie erreichen im "open loop" bis zu 100 µm Stellweg bei sehr kompakten Abmessungen. Die Piezoelemente TRITOR^® 102 lassen sich unkompliziert mit mechanischen oder elektromagnetischen Antrieben zu Positioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren.

Angeboten werden verschiedene Ausführungen dieser Elemente - z.B. mit integriertem Messsystem (DMS und kapazitiv) und Ausführungen für Vakuumanwendungen. Aufgrund ihres Aufbaus sind TRITOR^®-Piezoelemente für dynamische Anwendungen geeignet.

Durch den freien Innendurchmesser von 40 mm (TRITOR^® 102) ist dieser Nanopositionierer vor allem für die Mikroskopie und für Scan-Applikationen interessant.