Eigenschaften:

• 50/50/400 (x/y/z) µm Stellbereich in open loop-Betrieb
• 40/40/320 (x/y/z) µm Stellbereich in closed loop-Betrieb
• Gute dynamische Eigenschaften bei Lasten bis zu 20 kg
• Exzellente Führungsgenauigkeit
• Hervoragende Auflösung bei höheren Belastungen
• 150 x 150 mm freier Durchgang

Anwendungsbeispiele:

• Automation
• Halbleiterindustrie
• Vakuumeinsatz
• Nicht-magnetischer Einsatz

Das 3-dimensionale Piezo-Positioniersystem TRITOR 320 ist eine Entwicklung für hochgenaue Positionierungen von großen Lasten. FEM-optimiert erreicht das Element eine herausragende Dynamik, welche schnelle präzise Positionierungen, selbst bei hoher Belastung (bis zu 20 kg) mit gleichzeitig exzellenter Führungsgenauigkeit erlaubt. Angeboten werden verschiedene Ausführungen dieser Elemente - z.B. mit integriertem Messsystem und Ausführungen für Vakuumanwendungen.

Wie alle Stellelemente von Piezosystem Jena arbeitet das 3-dimensionale Piezo-Positioniersystem TRITOR 320 aufgrund der drahterodierten monolithischen Festkörpergelenke spiel- und reibungsfrei. Auf Anfrage sind Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen erhältlich, ebenso Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan. Der optionale Sensorvorverstärker (Version "extern"/"digital") erlaubt eine kabellängenunabhängige Implementierung.