3-dimensionales Piezo-Positioniersystem TRITOR 320
Eigenschaften:
- 50/50/400 (x/y/z) µm Stellbereich in open loop-Betrieb
- 40/40/320 (x/y/z) µm Stellbereich in closed loop-Betrieb
- Gute dynamische Eigenschaften bei Lasten bis zu 20 kg
- Exzellente Führungsgenauigkeit
- Hervoragende Auflösung bei höheren Belastungen
- 150 x 150 mm freier Durchgang
Anwendungsbeispiele:
- Automation
- Halbleiterindustrie
- Vakuumeinsatz
- Nicht-magnetischer Einsatz
Das 3-dimensionale Piezo-Positioniersystem TRITOR 320 ist eine Entwicklung für hochgenaue Positionierungen von großen Lasten. FEM-optimiert erreicht das Element eine herausragende Dynamik, welche schnelle präzise Positionierungen, selbst bei hoher Belastung (bis zu 20 kg) mit gleichzeitig exzellenter Führungsgenauigkeit erlaubt. Angeboten werden verschiedene Ausführungen dieser Elemente - z.B. mit integriertem Messsystem und Ausführungen für Vakuumanwendungen.
Wie alle Stellelemente von Piezosystem Jena arbeitet das 3-dimensionale Piezo-Positioniersystem TRITOR 320 aufgrund der drahterodierten monolithischen Festkörpergelenke spiel- und reibungsfrei. Auf Anfrage sind Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen erhältlich, ebenso Materialvariationen mit Invar, Superinvar, Aluminium oder auch Titan. Der optionale Sensorvorverstärker (Version "extern"/"digital") erlaubt eine kabellängenunabhängige Implementierung.
TRITOR 320
