Piezo-Positionierung mit dem 3D-Piezotisch TRITOR 38

Eigenschaften:

  • hochparallele XYZ-Bewegung durch Federparallelprogramme
  • kompakte Maße bei großem Stellbereich
  • spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
  • hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
  • integrierte Wegübersetzung
  • Stellbereich bis 38µm

 

piezosystem jena war mit der 3D-Piezotisch-Serie "TRITOR" der weltweit erste Anbieter von kompakten 3D-XYZ-Nanopositionierern basierend auf piezo-elektrischen Aktoren. Die Positioniersysteme und Scanner der 3D-Serie TRITOR zeichnen sich durch ihre vollkommen spielfreie Bewegung in allen drei Achsen aus. Ein FEA-optimiertes Antriebsdesign ermöglicht die Unterbringung mehrerer Achsen auf engstem Raum und garantiert daher auch hervorragende mechanische Eigenschaften in der Mikropositionierung, die sich durch ihre hohe Resonanzfrequenz und Achssteifigkeit belegen lassen. Entwickelt wurden die kompakten XYZ-Piezo-Antriebssysteme besonders im Hinblick auf die Positionierung kleinster Komponenten in der Fasertechnologie und Optik, in der Nanotechnologie und Strahlsteuerung.

Besonderheiten: Durch die einzigartige Kompaktheit dieser 3D-Piezotisch-Serie TRITOR 38 können Parallelbewegungen bis 38µm erreicht werden. Das besondere Design und die hochpräzise Fertigung der Antriebselemente ermöglichen eine nanometergenaue Piezo-Positionierung - auch von Komponenten, die eine größere Eigenmasse besitzen als die des Antriebssystems. Ferner können aufgrund der hohen Eigensteifigkeit Scanfunktionen besonders schnell und mit geringster Einschwingzeit umgesetzt werden.

Einbauhinweise: Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das 3D-Scanner- und Positioniersystem auf dem mechanischen Grundaufbau befestigt. Weitere Gewindebohrungen ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Je nach System stehen zusätzlich Stiftlöcher zur exakten Ausrichtung der montierten Komponenten zur Verfügung.

TRITOR 38

TRITOR 38
TRITOR 38 SG

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