X-Achsen Piezo-Positionierer (Nanopositioniersystem)
Eigenschaften Serie PU:
- mechanisch vorgespannte Aktuatoren
- Hohe mechanische Stabilität durch die hohe Steifigkeit des Systems
- OEM Versionen mit geringen Abmessungen
- Präzise Parallelbewegung durch das Parallelogram-Design
- 1-Achsen Bewegung von 40 µm bis 100 µm
- optional mit integriertem Messsystem (Version SG oder CAP)
- verschiedene Materialvarianten möglich
(nichtmagnetischer rostfreier Stahl, eloxiertes Aluminium, Titan) - Versionen für Einsatz im Vakuumbetrieb und/oder Tieftemperaturbereich
- Positionierer ohne Kopf-/Fußplatte
Eigenschaften PX Serie:
- mechanisch vorgespannte Aktuatoren
- OEM Versionen mit geringen Abmessungen
- X-Achsen Bewegung von 38 bis 400 µm (PX 38 - PX 400)
und 500 µm/1500 µm (PX 500/PX 1500) - optional mit integriertem Messsystem (Version SG oder CAP)
- verschiedene Materialvarianten möglich
(nichtmagnetischer rostfreier Stahl, eloxiertes Aluminium, Titan) - Versionen für Einsatz im Vakuumbetrieb und/oder Tieftemperaturbereich
- Positioniertisch mit Kopf-/Fußplatte (PX 38 - PX 400)
- Linear-Antrieb zur Integration (PX 500 und PX 1500)
Übersicht X-Achsen Piezopositionierer
PU 40
- Verfahrbereich: bis zu 40 µm
- Option: Positions-Sensor
- Hubrichtung frei wählbar
Piezo-Positionierer ohne Kopf-/Fußplatte
PU 90
- Verfahrbereich: bis zu 90 µm
- Option: Positions-Sensor
- Hubrichtung frei wählbar
Antriebselement ohne Kopf-/Fußplatte
PU 100
PU 100 / PU 100 SG / PU 100 CAP
- Verfahrbereich: bis zu 100 µm
- Option: Positions-Sensor
- Hubrichtung frei wählbar
Antriebselement ohne Kopf-/Fußplatte
PX 38
- Verfahrbereich: bis zu 38 µm
- Abmessung: 25 x 25 mm²
- Mit DMS: 40 x 40 mm²
Positioniertisch mit Kopf-/Fußplatte
PX 50
- Verfahrbereich: bis zu 50 µm
- Integrierter Sensor
- Abmessungen: 40 x 40 x 23 mm³
Positioniertisch mit Kopf-/Fußplatte
PX 100
PX 100 / PX 100 SG / PX 100 CAP
- Verfahrbereich: bis zu 100 µm
- Abmessung: 40 x 40 mm²
- Option: Positions-Sensor/Vakuum-Version
Piezo-Positioniertisch mit Kopf-/Fußplatte
PX 200
PX 200 / PX 200 SG / PX 200 CAP
- Verfahrbereich: bis zu 200 µm
- Abmessungen: 52 x 48 mm²
- Option: Positions-Sensor/Vakuum-Version
Piezo-Positionierer mit Kopf-/Fußplatte
PX 300
PX 300 / PX 300 SG / PX 300 CAP
- Verfahrbereich: bis zu 300 µm
- Abmessung: 52 x 48 mm²
- Option: Positions-Sensor/Vakuum-Version
Nanopositioniersystem mit Kopf-/Fußplatte
PX 400
PX 400 / PX 400 SG / PX 400 CAP
- Verfahrbereich: bis zu 400 µm
- Abmessung: 52 x 48 mm²
- Option: Positions-Sensor/Vakuum-Version
Nanopositioniersystem mit Kopf-/Fußplatte
Zusammenfassung zur PU und PX Serie
Zur Serie der X-Achsen Piezopositionierer von piezosystem jena gehören die Aktoren der Serie PU und der Serie PX. Diese ermöglichen die exakte Mikropositionierung von Komponenten und Werkzeugen in nur wenigen Millisekunden. Die Tischsysteme erlauben eine einfache Montage der Bauteile und garantieren eine langzeitstabile und bei der Integration eines Sensorsystems zudem driftfreie Positionierung.
Die Serie PU ist als robuster, universell montierbarer Antriebaktor in verschiedenen Verfahrbereichen verfügbar. Auch hier können zusätzliche Sensoren eine exakte Wiederholbarkeit der Position garantieren und die Vakuum- und Kryo-Varianten ermöglichen den Einsatz auch unter speziellen Bedingungen.
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