Eigenschaften:

• Stellbereich bis 100 µm
• nm Auflösung im closed loop Modus
• Kombinierbar zu XY-Systemen
• Vollkommen spielfreie Bewegung
• Hohe Dynamik dank integrierter Vorspannung

Anwendungsbeispiele:

• Faserpositionierung, Laseroptik
• Scansysteme
• Mikromanipulation
• Positionierung kleiner Komponenten

Optionen:

• Auch mit integrierten Wegsensoren (DMS) möglich

Grundprinzip der Bewegung sind Parallelogramme, die durch Festkörpergelenke gebildet werden. Piezokeramiken arbeiten als Antrieb. Damit wird eine parallele und spielfreie Bewegung erzeugt.

Die x- Positionierungssysteme lassen sich leicht mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen von verschiedenen Herstellern kombinieren.
Sie können direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit den Spiegelkippsystemen Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Ein dynamischer Betrieb ist dank der integrierten Vorspannung möglich.

Die Piezoscanner der Serie PX 100 sind auch mit integrierter Positionssensorik (Dehnungsmessstreifen) für "closed loop mode" Steuerung erhältlich. Somit eignen sich diese Systeme besonders für Applikationen bei denen eine präzise und fein abstimmbare Positionierung kleiner Komponenten erforderlich ist.

Wegen der sub-nm Auflösung bewährt sich dieser Aktor sehr erfolgreich auf dem Gebiet der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens.