Eigenschaften:

• Stellbereich bis 200 µm
• 3.2 nm Auflösung im closed loop Modus
• Kombinierbar zu XY-Systemen

Anwendungsbeispiele:

• Faserpositionierung, Laseroptik
• Scansysteme
• Mikromanipulation

Optionen:

• Auch mit integrierten Wegsensoren (DMS oder kapazitiv) möglich

Wegen der sub-nm Auflösung bewährt sich dieser Aktor sehr erfolgreich auf dem Gebiet der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens.

Grundprinzip der Bewegung sind Parallelogramme, die durch Festkörpergelenke gebildet werden. Piezokeramiken arbeiten als Antrieb. Damit wird eine parallele und spielfreie Bewegung erzeugt. Die x- Positionierungssysteme lassen sich leicht mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen von verschiedenen Herstellern kombinieren.

Die Piezonanopositionierer können direkt mit Stellsystemen der Serie PXY oder mit Spiegelpositionierer/Kippsysteme Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Ein dynamischer Betrieb ist möglich.