Eigenschaften:

• Stellbereich bis 300 µm
• 4.5 nm Auflösung im closed loop-Modus
• Kombinierbar zu XY-Systemen

Anwendungsbeispiele:

• Faserpositionierung, Laseroptik
• Scansysteme
• Mikromanipulation

Optionen:

• Auch mit integrierten Wegsensoren (DMS oder kapazitiv) möglich

Grundprinzip der Bewegung sind Parallelogramme, die durch Festkörpergelenke gebildet werden. Piezokeramiken arbeiten als Antrieb. Damit wird eine parallele und spielfreie Bewegung erzeugt.

Die x- Positionierungssysteme lassen sich leicht mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen von verschiedenen Herstellern kombinieren. Die Präzisionsversteller können direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Ein dynamischer Betrieb ist möglich. 

Wegen der sub-nm Auflösung bewährt sich dieser Aktor sehr erfolgreich auf dem Gebiet der Präzisionspositionierung und des Hochleistungsscannens.