Piezo-Nanopositioniersysteme für Bewegungen in zwei Achsen - Serie PXY 102

Eigenschaften:

• 2D-Piezo-Nanopositioniersystem
• zentrale Öffnung 40 mm
• XY-Verfahrweg bis 100 µm (ol)
• optional: integrierte Positionssensoren
• spielfreie Bewegung jeder Achse
• sub-Nanometer-Auflösung
• adaptierbar auf Mikroskoptische
• hohe Resonanzfrequenz für schnelle Zeilenvorschübe beim Scannen

Anwendungsbeispiele:

• AFM und Mikroskopie
• Mikromanipulation
• Cantilever-Justage
• Probenscanning in XY
• Wafer-Stepper und Lithographie

Die Piezo-Nanopositioniersysteme der Serie PXY 102 ermöglichen spielfreie Bewegungen in XY-Richtung. Sie erreichen im open loop-Betrieb bis zu 100 µm Stellweg bei sehr kompakten Abmessungen. Der PXY 102 lässt sich unkompliziert mit motorischen Antrieben zu Mikropositioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren. Aufgrund des Aufbaus sind PXY102-Aktoren besonders für dynamische Anwendungen geeignet. Der freie Innendurchmesser von 40 mm macht diesen Piezo-Positionierer besonders für die Mikroskopie und für Scan-Applikationen interessant.

Das besondere Design und die hochpräzise Fertigung der Antriebselemente ermöglichen eine nanometergenaue, reproduzierbare 2D-Positionierung. Ferner können, aufgrund der hohen Eigensteifigkeit, Scanfunktionen besonders schnell und mit geringster Einschwingzeit umgesetzt werden. Um piezotypische Drift- und Hystereseeffekte zu vermeiden, können die Systeme mit DMS-Sensoren oder kapazitivem Wegmesssystem ausgerüstet werden.