XY-Piezo-Positioniersysteme Serie PXY 36

Besonderheiten:

• XY-Stellachsen für Mikropositionierung
• 36µm Verfahrbereich je Achse
• kein mechanisches Spiel
• FEM-optimierter Direktantrieb
• hohe Dynamik für Scananwendungen
• hohe Steifigkeit für geringste Einschwingzeit

Anwendungen:

• Positionierung von Optiken
• 2D-Scanner Systeme
• Strahlführungssysteme
• Halbleitertechnik
• Mikropositionierung
  
  

Das XY-Piezo-Positioniersysteme PXY 36 zur Mikropositionierung bietet eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich und dank einer hohen Führungsgenauigkeit des Piezo-Antriebes, eine ausgezeichnete Bahntreue, wie sie für viele Mikroskopieanwendungen erforderlich ist.

Das Piezoelement besitzt Festkörpergelenke im bewährten Parallelogrammdesign. Sie ermöglichen eine Parallelbewegung in X- und Y- Richtung ohne mechanisches Spiel. Durch dieses Konstruktionsprinzip wird eine sehr hohe Auflösung von unter einem Nanometer erzielt.

Durch das Design der FEM-optimierten Festkörpergelenke arbeiten die XY-Piezo-Positioniersysteme der Serie PXY 36 mit sehr kurzen Einschwingzeiten. Zusätzlich wird der laterale Versatz in Z-Richtung auf wenige Nanometer minimiert.