XY-Piezo-Positioniersysteme Serie PXY 36
Besonderheiten:
- XY-Stellachsen
- 36µm Verfahrbereich je Achse
- kein mechanisches Spiel
- FEM-optimierter Direktantrieb
- hohe Dynamik für Scananwendungen
- hohe Steifigkeit für geringste Einschwingzeit
Anwendungen:
- Positionierung von Optiken
- 2D-Scanner Systeme
- Strahlführungssysteme
- Halbleitertechnik
- Mikropositionierung
Das XY-Piezo-Positioniersysteme PXY 36 bietet eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich und dank einer hohen Führungsgenauigkeit des Piezo-Antriebes, eine ausgezeichnete Bahntreue, wie sie für viele Mikroskopieanwendungen erforderlich ist.
Das Piezoelement besitzt Festkörpergelenke im bewährten Parallelogrammdesign. Sie ermöglichen eine Parallelbewegung in X- und Y- Richtung ohne mechanisches Spiel. Durch dieses Konstruktionsprinzip wird eine sehr hohe Auflösung von unter einem Nanometer erzielt.
Durch das Design der FEM-optimierten Festkörpergelenke arbeiten die XY-Piezo-Positioniersysteme der Serie PXY 36 mit sehr kurzen Einschwingzeiten. Zusätzlich wird der laterale Versatz in Z-Richtung auf wenige Nanometer minimiert.