• hohe Resonanzfrequenz
• integrierte Vorspannung
• zentrale Durchgangsöffnung 22 mm x 22 mm
• Waferpositionierung
• Mikroskopie, Rastersondenmikroskopie
• Automation
  
  

Anwendungen:

• Scanner
• Waferpositionierung
• Rastersondenmikroskopie
• Automatisierungstechnik
• Handlingsysteme

Die XY-Nanopositionierer der Serie PXY 400 erreichen große Stellwege von 400 µm. Neu konstruierte Antriebe ermöglichen zugleich eine hohe Resonanzfrequenz und ein verbessertes dynamisches Verhalten.

Das System wurde speziell als XY-Scanner entwickelt, es ist jedoch für weitere vielfältige Einsatzmöglichkeiten geeignet.

Vorteilhaft für viele Anwendungen ist der freie Durchgang von 22x22mm² in der Mitte des Systems.