XY-Nanopositionierer Serie PXY 400
Eigenschaften:
- hohe Resonanzfrequenz
- integrierte Vorspannung
- zentrale Durchgangsöffnung 22 mm x 22 mm
- Waferpositionierung
- Mikroskopie, Rastersondenmikroskopie
- Automation
Anwendungen:
- Scanner
- Waferpositionierung
- Rastersondenmikroskopie
- Automatisierungstechnik
- Handlingsysteme
Die XY-Nanopositionierer der Serie PXY 400 erreichen große Stellwege von 400 µm. Neu konstruierte Antriebe ermöglichen zugleich eine hohe Resonanzfrequenz und ein verbessertes dynamisches Verhalten.
Das System wurde speziell als XY-Scanner entwickelt, es ist jedoch für weitere vielfältige Einsatzmöglichkeiten geeignet.
Vorteilhaft für viele Anwendungen ist der freie Durchgang von 22x22mm² in der Mitte des Systems.
PXY 400
