XY Piezo-Positioniertische

Die Piezo-Positioniertische PXY basieren auf Piezo-Aktoren, welche mittels Festkörpergelenken dynamisch mit der Genauigkeit im Nanometerbereich präzise positionieren können. Die Piezo-Tische und Piezo-Scan-Antriebssysteme erreichen Positionierwege bis zu 700 µm. Je nach Antriebsdesign und Aktoraufbau können diese mit Sensoren zur stabilen Positionsregelung ausgerüstet werden. Diese Piezotranslatoren positionieren auch Optiken und Komponenten hochdynamisch mit minimaler Einschwingzeit.

ScanXY 40

ScanXY 40

Eigenschaften der XY-Piezo-Positionierer

  • Verstell- bzw. Scanbereiche zwischen 15 µm und 400 µm
  • hohe Steiffigkeit
  • die Serie PXY D12 ist um Z-Achse erweiterbar
  • hohe Resonanzfrequenz
  • Versionen mit Messsensoren verfügbar (SG, CAP)
  • Modelle mit großen Aperturen für verschiedenste Anwendungen

Produktpalette der Serie XY

Serie PXY D12

 

PXY 40 D12 / PXY 80 D12 / PXY 200 D12

  • Verfahrbereich: 40 µm bis 200 µm
  • L-Form XY Piezo Antrieb - mit Z-Achse erweiterbar 

 

XY-Scan-Positionierer für AFM und Messtechnik


PXY 15

 

PXY 15 - XY-Scan-Piezo-Positionierer

  • Verfahrbereich XY: bis zu 20 µm 
  • Dynamischer Scan-Antrieb mit großer Öffnung 

 

XY-Piezoantrieb für Optik, Laser-Positionierung

PXY 16

 

PXY 16 - XY Scan-Piezopositioniersystem

  • Verfahrbereich XY: bis zu 16 µm 
  • Dynamischer Scan-Antrieb mit großer Öffnung 

 

XY Scan-Piezopositioniersystem für Optik, Laser-Positionierung


PXY 36

 

PXY 36 - Piezostellsystem für XY-Achsen

  • Verfahrbereich XY: bis zu 36 µm 
  • Dynamischer Scan-Antrieb mit großer Öffnung 

 

Piezostellsystem (XY-Achsen) für Optik, Laser-Positionierung

PXY 38

 

PXY 38 - Piezo XY Positioniertisch

  • Verfahrbereich: bis zu 38 µm
  • Abmessung: 25 x 25 mm / mit DMS 40 x 40 mm

 

Positioniertisch mit Kopf-/ Fußplatte


ScanXY 40

 

ScanXY 40 - Piezoscanner

  • Verfahrbereich XY: bis zu 40 µm 
  • Hoch dynamischer Scan-Antrieb mit Öffnung 

 

XY-Piezoscanner für Optik, Laser Positionierung

PXY 100

 

PXY 100 - Piezo XY Positioniertisch

  • Verfahrbereich: bis zu 100 µm
  • Abmessung: 40 x 40 mm / mit Sensor 65 x 65 mm

 

Positioniertisch mit Kopf-/Fußplatte


PXY 102

 

PXY 102 - 2D-Nanopositioniersystem

  • Verfahrbereich XY: bis zu 100 µm
  • Abmessung: 80 x 80 x 30 mm
  • Option: Sensor zur Positionskontrolle/-regelung 

 

2-Achsen-Nanopositionierer mit Ø40 mm-Öffnung

PXY 200

 

PXY 200 - XY-Piezopositionierer

  • Verfahrbereich: bis zu 200 µm
  • Abmessung: 70 x 70 mm, Öffnung: Ø28 mm

 

Piezopositionierer mit Kopf-/Fußplatte


PXY 201

 

PXY 201 - XY-Piezopositionierer

  • Verfahrbereich: bis zu 200 µm
  • Abmessung: 74 x 74 mm, Öffnung: 30 x 30 mm 

 

Piezopositionierer mit Kopf-/ Fußplatte

PXY 400

 

PXY 400 - XY-Nanopositioniersystem

  • Verfahrbereich: bis zu 400 µm
  • Abmessung: 80 x 68 mm / Öffnung: 22 x 22 mm

 

Nanopositioniersystem mit Innenöffnung


Anwendungen:

  • Optik, Faserpositionierung, Lasertechnik
  • Präzisionsjustierung im wissenschaftlichen Bereich
  • 2-dimensionale Scanbewegungen
  • Automatisierte, fernbedienbare Systeme


Die XY-Piezopositionierer verfügen über Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung, die eine spielfreie, hochparallele Bewegung in x- und y-Richtung sichern. Damit erreichen die Scanelemente Auflösungen, die die von mechanischer Präzisionsführungen weit übertreffen.

Die XY-Positionierer lassen sich problemlos mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen der verschiedensten Hersteller kombinieren. Für zahlreiche Anwendungen hat sich die zentrale Durchgangsbohrung der Serie PXY 100 als besonders nützlich erwiesen. Optional werden die Systeme mit integrierten Wegsensoren (DMS oder kapazitiv) angeboten. Die Elemente der Serie PXY 100 können dynamisch betrieben werden und sind sehr gut zum Einsatz bei Scan-Anwendungen geeignet.

Einbauhinweise:

Die XY-Positioniersysteme bestehen aus Aktoren und einer integrierten Wegübersetzung. Entsprechend dem Übersetzungsverhältnis werden äußere Kräfte mit ihrer Wirkung auf das Piezoelement vervielfacht. Vermeiden Sie deshalb Kräfte zwischen dem Grundkörper (Gehäuse) und der Deckplatte.
Über diagonal angeordnete Bohrungen wird das Positioniersystem von oben auf dem mechanischen Grundaufbau befestigt. Zwei weitere diagonal angeordnete Gewinde ermöglichen die Befestigung des zu bewegenden Teils auf der Deckplatte. Die eingearbeiteten Stiftlöcher ermöglichen eine exakte Ausrichtung der piezoelektrischen Elemente.


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