XYZ-Positionierer (Nanopositionierer) Serie TRITOR®

Eigenschaften der TRITOR® Serie

Detail eines TRITOR®
Detail eines TRITOR®
  • Produktvielfalt mit kompaktem Design
  • integrierte Vorspannung für hohe Dynamik
  • integrierte Positionssensorik verhindert Drift und Hysterese
  • Parallelbewegung durch Parallelogrammdesign
  • spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
  • kein Achsübersprechen durch spezielle Sensoranordnung
  • piezoelektrischer Antrieb für unbegrenzte Auflösung
  • Vakuum- und Tieftemperaturausführung
  • Bewegungen bis zu 400 µm

Produktübersicht der TRITOR® Serie

microTRITOR®

 

microTRITOR® - 3D Nanopositionierer

  • Verfahrbereich XYZ: bis zu 9 µm 
  • Abmessung: 15 x 15 x 15 mm / ohne Öffnung

 

kleinstes 3-Achsen-Positioniersystem!

miniTRITOR®

 

miniTRITOR® - 3D-Positionierelement

  • Verfahrbereich XYZ: bis zu 38 µm 
  • Abmessung: 19 x 19 x 16 mm / ohne Öffnung

 

kompaktes 3-Achsen-Positioniersystem 


TRITOR® 38

 

TRITOR® 38 - 3D Nanopositionierer

  • Stellbereich XYZ: bis zu 38 µm / ohne Öffnung
  • Abmessung: 25 x 25 x 27 mm/Optional mit Sensor

 

Kompaktes 3-Achsen-Positioniersystem

TRITOR® 50

 

TRITOR® 50 - 3D Piezotisch

  • Stellbereich XYZ: bis zu 50 µm/ohne Öffnung 
  • Abmessung: 55 x 42 x 34,5 mm/Sensor integriert 

 

universelles 3-Achsen-Positioniersystem 


TRITOR® 100

 

TRITOR® 100 - 3D Nanopositionierer

  • Verfahrbereich XYZ: bis zu 100 µm / ohne Öffnung 
  • Abmessung: 40 x 40 x 34 mm / Optional: mit Sensor 

 

Universeller 3-Achsen-Piezopositionierer

TRITOR® 101

 

TRITOR® 101 - 3D-Piezopositionierer

  • Verfahrbereich XYZ: bis zu 100 µm
  • Abmessung: 68 x 68 x 30 mm / Optional: mit Sensor 

 

3-Achsen-Positionierer mit ø30 mm-Öffnung  


TRITOR® 102

 

TRITOR® 102 - 3D-Positionierelement

  • Verfahrbereich XYZ: bis zu 100 µm
  • Abmessung: 80 x 80 x 30 mm / mit Sensor erhältlich 

 

3-Achsen-Nanopositionierer mit ø40 mm-Öffnung 

TRITOR® 320

 

TRITOR® 320 - 3D-Nanopositionierer

  • Hub XY: 50 µm, Z: bis zu 320 µm
  • Abmessung: 320 x 320 x 150 mm

 

3D Hochlastpositionierer, Öffnung: 150 x 150 mm


TRITOR® 400

 

TRITOR® 400 - 3D-Nanopositioniertisch

  • Hub XYZ: bis zu 400 µm
  • Abmessung: 116 x 106,5 x 40 mm

 

3D Positionierer, ø12,5 (19) mm-Öffnung*
* Durchmesser variiert nach Sensorvariante 


Zusammenfassung TRITOR® Serie

Das Design

FEM-optimierte monolithische Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spielfreie Positionierung in XY und Z. Bei einer einzigartigen Kompaktheit dieser Nanopositionierer können Parallelbewegungen bis 400 µm in allen drei Achsen realisiert werden. Das Besondere an den Antriebsystemen von piezosystem jena ist die integrierte Vorspannung jeder Achse, die bei hohen Beschleunigungen im dynamischen Betrieb ein Überschwingen verhindert. Das garantiert höchste Genauigkeit und hervorragende Führungseigenschaften. Alle Achsen können mit integrierten Positionssensoren ausgerüstet werden, die in Verbindung mit der entsprechenden Steuerelektronik Drift- und Hystereseffekte verhindern. Die kapazitive Sensorik misst dabei direkt die Bewegung der Kopfplatte in XYZ. Somit wird, im Gegensatz zu anderen Anbietern, ein Achsübersprechen erkannt und vermieden.

 

Der Einsatz

Die Nanopositionierer der Serie TRITOR® sind hochempfindliche Positioniersysteme, die Genauigkeiten im sub-nm Bereich garantieren. Bitte beachten Sie die entsprechenden Montagehinweise bei der Handhabung. Alle Systeme besitzen auf Kopf- und Fußplatte Gewindebohrungen und zum Teil Stiftlöcher zur exakten Befestigung. Die Elemente der Serie TRITOR® können daher problemlos mit anderen mechanischen Positioniersystemen kombiniert werden. Somit sind wir auch in der Lage, in Kombination mit Linearmesstischen, mm-Stellbereiche zu realisieren.

Die TRITOR® Serie umfasst folgende Systeme:

  • microTRITOR®  

- Hub 9 µm, kleinster XYZ-Positionierer

  • miniTRITOR® 

- Hub 38 µm XYZ, Scanning, Mikromontage

  • TRITOR® 38    

- Hub 38 µm XYZ, Scanning, Mikromontage

  • TRITOR® 50 

- Hub 50 µm XYZ, Messtechnik, Mikromontage

  • TRITOR® 100  

- Hub 100 µm, Messtechnik, Mikromontage, Alignment

  • TRITOR® 101 und TRITOR® 102 

- Hub 100 µm, Mikroskopie, Lasertechnik

  • TRITOR® 320   

- Hub XY:40 µm; Z:320 µm, Wafer & Lithographie

  • TRITOR® 400 

- Hub 400 µm, Probenpositionierung, Alignment  


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