Z-Achsen Linear-Piezopositionierer Serie PZ

Die Z-Achsen Linear-Piezo-Positionierer der Serie PZ werden zur hochparallelen Bewegung von Proben, Optiken oder anderen Instrumenten in der Z-Achse angeboten. Die Festkörpergelenke der hochauflösenden Positioniersysteme sind extra so konzipiert, dass bei einer Bewegung in der Z-Richtung, auch unter zusätzlicher Last, dynamisch positioniert werden kann und der Versatz minimiert ist.

Generell sind die Z-Achsen Linear-Piezo-Positionierer der Serie PZ im "Stage-Design" mit Kopf- und Grundplatte ausgerüstet. Die Piezo-Antriebe der Serie PZ OEM und PZ D12 hingegen sind reine Antriebselemente, die zur schnellen Integration in Kundensysteme ausgelegt sind.

Die Serie PZ ist konzipiert, um leichtere Komponenten, wie Spiegel und Laserdioden oder ähnliche optische Bauteile im Bereich von Mikrometern langzeitstabil zu positionieren. Weitere typische Einsatzgebiete liegen im Bereich Justage und Montage in der Halbleitertechnik und Elektronik, sowie für Aufgaben in der Messtechnik und Qualitätsprüfung und auch der Mikrobiologie.

Verfügbar sind diese Systeme neben den speziellen OEM Varianten  auch in speziellen Versionen für den Vakuum- und Tieftemperaturbereich. Um Effekte wie Positionsdrift und Hysterese zu vermeiden, können die Piezoaktoren wahlweise mit DMS oder kapazitiver Positionssensoren ausgerüstet werden. Somit wird neben einer hohen Positionsstabilität zugleich eine Reproduzierbarkeit im sub-nm Bereich gewährleistet.